微米/纳米技术浅谈(一)

《惯性世界》杂志的读者大概都能说出惯性仪表、惯性系统等的含义。也都知道惯性技术的应用领域及其重要作用。在民用方面:它可应用于标定地面经纬度、民航客机的空中导航、石油丛式井的钻探、汽车陆地导航、开挖隧道的定向、探矿、火车道轨距离的测定、发射人造卫星的精确定位。

微米/纳米技术浅谈(四)——MIMU是惯性技术的一朵奇葩

过去曾介绍过微米/纳米技术的基本知识,特别是MEMS(微机电系统)的应用与有关微加工方法。今天,随着惯性系统及仪表的体积不断向小型化发展,MIMU已越来越成为一种有着广阔应用前景的MEMS。 MIMU是微型惯性测量组合英文名Mi-cro Inertial Measurement Unit字首的缩写。

微米/纳米技术浅谈——MEMS的微加工技术(三)

微加工方法类别微机电系统(MEMS)的制造技术,无论微型惯性测量组合(MIMU),或是其它应用领域的各种MEMS,均涉及到其各主要组成单元的设计、材料、微加工、测试、控制等有关技术,它们与常规的机电系统的设计、制造技术是有较大差别的。MEMS的设计必须考虑到各种力的尺寸效应,以及其它微机械特性、微摩擦性能等。

微米/纳米技术浅谈——MEMS的构成和应用(二)

八十年代以来,美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作,并投入了大量人力物力,目前已取得许多成果,有成百种产品可实用或接近实用,其中有些已作为工业产品进入市场,受到全世界的瞩目。 MEMS的构成 MEMS是包括微型机构、微型传感器、微型执行器,以及信号处理和控制电路,直接接口、通讯和电源所组成的微型系统。