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基于无线自供能的植入式微纳集成芯片与集成系统
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作者 叶乐 高猛 +13 位作者 张雅聪 高成臣 刘昱 刘欣 赵博 孟凡瑞 桂林 林俊淑 苏彬 马盛林 马伯志 祝斌 梁辰 黄如 《微电子学与计算机》 2023年第11期80-87,共8页
我国是慢性病大国,癌症、糖尿病、心脏病、癫痫、高血压等疾病已成为首要致死原因,医疗负担占比70%,形势严峻.相比口服,注射等传统给药方式,植入式精准靶向治疗按时按需、精准适量,见效迅速,几乎无副作用,被证实是慢性病的有效治疗方式... 我国是慢性病大国,癌症、糖尿病、心脏病、癫痫、高血压等疾病已成为首要致死原因,医疗负担占比70%,形势严峻.相比口服,注射等传统给药方式,植入式精准靶向治疗按时按需、精准适量,见效迅速,几乎无副作用,被证实是慢性病的有效治疗方式.目前我国在这一领域刚刚起步,尤其在高端植入微纳集成系统级芯片(System of Chip,SoC)、微纳系统集成和封装可靠性等方面,缺少原创性核心技术和共性技术支撑平台,严重落后于欧美发达国家,相关高端医疗器械及核心部件只能高价进口.因此,需要通过突破相关关键共性技术,核心部件国产化,从创新源头推动高端医疗器械发展,从而加速推动我国医疗器械产业化落地,打破欧美日发达国家垄断.本研究以突破医疗用微纳集成芯片和微纳集成系统关键共性技术为目的,解决了微电子小尺寸、高精度、低功耗等难题.通过三维异质集成构建植入式精准靶向给药系统和迷走神经刺激器,实现精准靶向给药、无线充电、生物电信号采集、电刺激等功能,项目样机已通过生物相容性测试和动物实验验证. 展开更多
关键词 SOC芯片 微纳集成 靶向给药系统 迷走神经刺激器
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硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计 被引量:8
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作者 闻化 张爱平 +2 位作者 张枫 高成臣 姚东嫒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第12期97-99,共3页
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-5... 介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-50-350℃;满量程输出≥100mV;精度优于0.1%;迟滞与重复性均优于0.05%FS。 展开更多
关键词 硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计
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微型风速风向传感器研制 被引量:7
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作者 李艳杰 高成臣 文彬 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期25-26,29,共3页
阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。
关键词 硅微桥 风向 风速 传感器
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深海高流速传感器研制 被引量:1
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作者 李艳杰 崔光浩 高成臣 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期26-28,共3页
阐述了深海高流速传感器的工作原理、结构设计、工艺研究及信号处理技术,该传感器中流速测量采用毕托管原理,利用差压传感器测量流体总压与静压差,流向测量采用水向标原理,角度变化由磁阻芯片检测,并采用单片机进行数据采集和后续处理,... 阐述了深海高流速传感器的工作原理、结构设计、工艺研究及信号处理技术,该传感器中流速测量采用毕托管原理,利用差压传感器测量流体总压与静压差,流向测量采用水向标原理,角度变化由磁阻芯片检测,并采用单片机进行数据采集和后续处理,使得传感器具有测量范围宽、准确度高、耐高静压、分辨力高、抗振动冲击、耐腐蚀、适于深海中流场测量等特点。 展开更多
关键词 流速传感器 工作原理 结构设计 信号处理技术 毕托管原理 高静压
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任意直角梯形截面梁扭转刚度的无穷级数解法(英文) 被引量:1
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作者 杨纲 郝一龙 +1 位作者 胡启方 高成臣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期594-598,共5页
分析研究截面为底角10°~80°直角梯形的弹性梁扭转刚度的解法,并用有限元模拟进行了检验。为解决这一弹性梁自由扭转问题(圣维南问题)的特殊情形,在本文中首次采用了基于布赛乃斯克流体力学假设的无穷级数解法。分析解法与软... 分析研究截面为底角10°~80°直角梯形的弹性梁扭转刚度的解法,并用有限元模拟进行了检验。为解决这一弹性梁自由扭转问题(圣维南问题)的特殊情形,在本文中首次采用了基于布赛乃斯克流体力学假设的无穷级数解法。分析解法与软件模拟的结果对比显示,在所研究的范围内其误差精度不超过3%。对于底角为54.74°的特殊直角梯形截面梁,该解法的精度误差小于1.5%。 展开更多
关键词 圣维南问题 直角梯形截面梁 扭转刚度 流体力学假设 无穷级数法
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石英晶体谐振式绝对压力传感器研制 被引量:1
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作者 潘安宝 闻化 +2 位作者 姚东媛 高成臣 谢树海 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第1期85-86,89,共3页
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。
关键词 石英晶体 谐振 压力传感器
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偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计(英文)
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作者 黄靖清 赵猛 +8 位作者 张婷婷 陈中建 伍峰 洪理琛 刘大河 张雅聪 鲁文高 高成臣 郝一龙 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期729-733,共5页
提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器。改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声。读出电路采用0.35μm高压CMOS工艺,并... 提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器。改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声。读出电路采用0.35μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能。测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72%。在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140μV。 展开更多
关键词 比例积分微分控制器 闭环 加速度计 自检测 微机电系统
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一种石墨烯热电器件的圆片级制备工艺
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作者 赵琦 张扬熙 +2 位作者 刘冠东 高成臣 郝一龙 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期458-464,共7页
石墨烯器件的规模制备是石墨烯材料从实验室研究走向市场应用的关键技术。基于大面积化学气相淀积(CVD)石墨烯,结合微加工技术,对石墨烯圆片级制备工艺进行了初步研究。优化了光学光刻和反应离子刻蚀(RIE)等工艺参数,设计了一套适用于4... 石墨烯器件的规模制备是石墨烯材料从实验室研究走向市场应用的关键技术。基于大面积化学气相淀积(CVD)石墨烯,结合微加工技术,对石墨烯圆片级制备工艺进行了初步研究。优化了光学光刻和反应离子刻蚀(RIE)等工艺参数,设计了一套适用于4英寸(1英寸=2.54 cm)硅衬底圆片级制备石墨烯器件的完整工艺流程,可以减少光刻次数,降低工艺成本。测试结果表明,单个圆片的器件成品率可达90.6%,圆片内器件具有较好的均一性,制备的石墨烯热电单元阵列在冷热端温差为5.2℃时,输出电压可达3.52 mV,高于已报道的同类石墨烯器件。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相淀积(CVD) 圆片级 微加工技术 热电器件
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我国多项提案在第74届IEC年会进展顺利
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作者 彭伟 吴正平 +7 位作者 张威 高成臣 陈奥 王锐臻 范科峰 王莹 赵英 刑卫兵 《信息技术与标准化》 2010年第12期40-41,共2页
第74届IEC大会及IEC部分技术委员会(TC)、分技术委员会(SC)和工作组(WG)会议于2010年10月5~16日在美国西雅图召开,国家标准化管理委员会即IEC中国国家委员会组织中国代表参加了本届大会。
关键词 IEC 国家标准化管理委员会 技术委员会 年会 西雅图 工作组 中国
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IEC/SC47F:重点讨论正在制定的11项标准
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作者 张威 高成臣 《信息技术与标准化》 2010年第12期42-42,共1页
会议确认了2009年10月中国西安会议的会议纪要,讨论了11项正在制定的标准: ·IEC62047-5Ed.1.0:射频MEMS开关(征询意见草案); ·IEC62047-7Ed.1:用于射频控制和选择的MEMS体表面波(BAW)滤波器与双工器(征询意见... 会议确认了2009年10月中国西安会议的会议纪要,讨论了11项正在制定的标准: ·IEC62047-5Ed.1.0:射频MEMS开关(征询意见草案); ·IEC62047-7Ed.1:用于射频控制和选择的MEMS体表面波(BAW)滤波器与双工器(征询意见草案); 展开更多
关键词 标准 IEC MEMS开关 双工器 滤波器 表面波 射频
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磁流体水平传感器的研究 被引量:8
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作者 宋国庆 董新平 +3 位作者 高成臣 张建才 段兴龙 李瑞杰 《传感器技术》 CSCD 1999年第3期27-29,共3页
介绍并探讨了磁流体水平传感器的工作原理、设计方法、实验结构和测量结果。
关键词 水平传感器 双轴倾角传感器 磁流体 磁性材料
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微气体流量传感器 被引量:8
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作者 张延文 于连波 +1 位作者 于海超 高成臣 《传感器技术》 CSCD 1998年第2期43-45,共3页
介绍了一种硅微桥结构热式流量传感器的结构和工作原理。采用单片机对传感器的输出信号进行处理,构成一个完整的测试系统,使系统具有定时、定量、测量、非线性补偿等功能。
关键词 流量传感器 单片机 硅微桥结构
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