TFT中底栅Cu膜凸起现象研究

超高清显示器需要具有低的信号传输层,Cu膜取代Al膜。针对绝缘膜高温下,底栅Cu膜,在玻璃边缘小黑点的现象,通过OM和FIB分析,确认为Cu膜凸起。本文通过实验提出一种H2预处理方式,利用H2的还原性,去除Cu表面氧化物,释放Cu膜内部应力,降低Cu膜凸起的发生率,在实际生产过程中具有应用价值。

浅谈薄膜晶体管微观缺陷修补

液晶面板中薄膜晶体管(Thin Film Transistor,后续简称TFT)作为开关元件,通过影响液晶偏转角度,从而控制液晶面板显示的亮暗程度。随着液晶面板的超高清化,表面微观缺陷对薄膜晶体管的影响越来越大,随之而来对薄膜晶体管微观缺陷的修补也带来更多挑战。本文介绍三种常见的薄膜晶体管修补设备的工作原理及其常见修补方式,为良率提升奠定基础。