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基于超磁致伸缩材料的谐波传动研究
被引量:
2
1
作者
朱林剑
高文泉
+2 位作者
包海涛
赵兴
杨卫化
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2009年第3期35-37,52,共4页
利用超磁致伸缩材料的伸缩特性,并结合谐波传动原理设计出了一种新型的电磁传动装置。首先,通过分析其工作原理,初步设计出了该传动装置的基本结构及其基本组成部件超磁致伸缩驱动器,并对所设计的驱动器进行了分析实验,效果显著。然后...
利用超磁致伸缩材料的伸缩特性,并结合谐波传动原理设计出了一种新型的电磁传动装置。首先,通过分析其工作原理,初步设计出了该传动装置的基本结构及其基本组成部件超磁致伸缩驱动器,并对所设计的驱动器进行了分析实验,效果显著。然后根据所设计的由四相超磁致伸缩驱动器构成的超磁致伸缩波发生器,提出了相应的控制方案,简要叙述了该传动实现调速、换向、精确定位等各项功能的控制系统软件设计方案。为此新型传动装置的成功研制奠定基础。
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关键词
超磁致伸缩材料
谐波传动
控制系统
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职称材料
化学机械抛光设备关键技术研究
被引量:
3
2
作者
高文泉
丁彭刚
徐存良
《电子工业专用设备》
2012年第1期12-15,共4页
化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。介绍了CMP技术原理、晶片夹持、抛光台温度控制、抛光垫修整、终点检测、抛光后清洗等技术以及未来对国内CMP设备...
化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。介绍了CMP技术原理、晶片夹持、抛光台温度控制、抛光垫修整、终点检测、抛光后清洗等技术以及未来对国内CMP设备的展望。
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关键词
化学机械抛光(CMP)
夹持
温度控制
终点检测
清洗
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职称材料
CMP设备中抛光垫修整机构的研究
被引量:
1
3
作者
高文泉
李伟
+1 位作者
徐存良
郭强生
《电子工业专用设备》
2012年第8期1-3,30,共4页
介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定...
介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定了该机构已达到设计要求。
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关键词
抛光垫修整机构
修整力
气动控制系统
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职称材料
超磁致伸缩谐波电动机控制系统研究
4
作者
朱林剑
高文泉
+2 位作者
赵兴
包海涛
杨卫化
《微特电机》
北大核心
2009年第11期46-48,56,共4页
介绍了一种新型电动机超磁致伸缩谐波电动机,它是根据谐波传动和超磁致伸缩材料电磁效应原理设计的。根据所设计的由四相超磁致伸缩驱动器构成的超磁致伸缩波发生器,通过分析其工作原理,提出了相应的控制方案,并设计了可快速响应的超磁...
介绍了一种新型电动机超磁致伸缩谐波电动机,它是根据谐波传动和超磁致伸缩材料电磁效应原理设计的。根据所设计的由四相超磁致伸缩驱动器构成的超磁致伸缩波发生器,通过分析其工作原理,提出了相应的控制方案,并设计了可快速响应的超磁致伸缩驱动器的驱动原理图。简要叙述了使电机实现调速、换向、精确定位等各项功能的控制系统软件设计方案。
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关键词
谐波电动机
超磁致伸缩材料
谐波传动
电磁效应
控制系统
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职称材料
300mm硅片CMP设备装载技术研究
5
作者
高文泉
陈威
+1 位作者
陈波
柳滨
《电子工业专用设备》
2011年第11期1-3,7,共4页
定位装载机构是硅片化学机械抛光(CMP)设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较,介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理,并最终通过在工艺试验中的实际应用确定了该机构已...
定位装载机构是硅片化学机械抛光(CMP)设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较,介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理,并最终通过在工艺试验中的实际应用确定了该机构已基本达到设计要求。
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关键词
定位装载机构
化学机械抛光
CMP
控制原理
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职称材料
CMP透明膜厚测量设备发展历程
6
作者
周国安
王东辉
+2 位作者
李伟
高文泉
詹阳
《电子工业专用设备》
2014年第2期1-5,共5页
论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分析了集成测量平台的特点,相比于离线测量,集成测量平台可获...
论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分析了集成测量平台的特点,相比于离线测量,集成测量平台可获得较高的片间非均匀性.但会造成前5~7片的浪费,列举代表性集成平台NovaScan 2040,并分析其具体的技术特点:分析了在线传感器终点检测的优越性,其具有控制薄膜形貌及终点检测的功能,结合先进过程控制,可以达到极高的平整度;结合以上分析,指出今后CMP设备的发展方向。
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关键词
化学机械平坦化
光学干涉法
椭圆偏振法
离线检测
集成测量平台
在线传感器测量
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职称材料
6R机械手在CMP设备中的运动空间分析
7
作者
徐存良
陈波
+1 位作者
高文泉
柳滨
《电子工业专用设备》
2011年第11期11-14,56,共5页
工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程,确定了机械手工作空间;并利用D-H坐标法,建立6R机械手的数学模型,得到机械手末端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后,采用蒙特卡洛数值分析法...
工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程,确定了机械手工作空间;并利用D-H坐标法,建立6R机械手的数学模型,得到机械手末端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后,采用蒙特卡洛数值分析法,仿真了机械手的运动空间,结果显示,该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间,满足CMP设备的使用需求。
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关键词
机械手
工作空间
蒙特卡洛法
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职称材料
京原线地质病害遥感调查
8
作者
蔡双乐
高文泉
《铁道勘察》
2004年第4期50-54,共5页
以京原铁路的地质病害为研究对象 (包括滑坡、崩塌落石等 ) ,通过室内收集资料 ,利用全色黑白航空像片进行地质病害判释 ,并以野外实地调查验证为事实依据 ,辅以室内资料处理和整理 ,对京原铁路地质病害的类型、产生、分布、发展进行分...
以京原铁路的地质病害为研究对象 (包括滑坡、崩塌落石等 ) ,通过室内收集资料 ,利用全色黑白航空像片进行地质病害判释 ,并以野外实地调查验证为事实依据 ,辅以室内资料处理和整理 ,对京原铁路地质病害的类型、产生、分布、发展进行分析 。
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关键词
京原铁路
地质勘察
遥感勘察
地质病害
黑白航空像片
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职称材料
建筑软土地基加固处理技术的分析与探讨
被引量:
6
9
作者
高文泉
罗福贵
《科技创新导报》
2012年第1期49-49,共1页
随着建筑行业的壮大和发展,新建的工程项目遇到了更多的不良地基,其中软土地基问题尤为明显。软土地基是一种强度较低、透水性能薄弱、压缩性较高的不良地基,如果建筑软土地基没有处理好,将会影响建筑物的正常使用。因此,笔者认为有必...
随着建筑行业的壮大和发展,新建的工程项目遇到了更多的不良地基,其中软土地基问题尤为明显。软土地基是一种强度较低、透水性能薄弱、压缩性较高的不良地基,如果建筑软土地基没有处理好,将会影响建筑物的正常使用。因此,笔者认为有必要对建筑软土地基加固处理技术进行分析与探讨,以提高软土地基的强度和稳定性,为建筑物的施工提供良好的地基条件。
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关键词
软土地基
地基加固
地基处理技术
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职称材料
养殖业的污染危害及应对措施
被引量:
3
10
作者
高文泉
《内蒙古农业科技》
2013年第5期133-134,共2页
养殖业的迅速发展为百姓生活提供了更多更优质的畜禽产品,也产生了大量的废弃物,对人、畜、禽的健康构成严重威胁,应从科学规划、正确选址、合理布局、规范管理等方面抓起,坚持种养结合,生态养殖,变废为宝,加大对养殖污染治理的投资,减...
养殖业的迅速发展为百姓生活提供了更多更优质的畜禽产品,也产生了大量的废弃物,对人、畜、禽的健康构成严重威胁,应从科学规划、正确选址、合理布局、规范管理等方面抓起,坚持种养结合,生态养殖,变废为宝,加大对养殖污染治理的投资,减少污染危害。
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关键词
养殖业
污染危害
治理
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职称材料
宠物狗常见病的预防
被引量:
1
11
作者
高文泉
《河南畜牧兽医》
2003年第10期49-49,共1页
关键词
宠物狗
预防
消化系统疾病
呼吸系统疾病
传染病
寄生虫病
难产
产后缺钙
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职称材料
智能大厦楼宇自动控制系统
被引量:
1
12
作者
高文泉
《电气时代》
2000年第2期43-43,共1页
1.智能大厦的概念 由于智能建筑发展历史较短,关于智能建筑,目前尚无统一的概念,但如今已被人们普遍接受的观点是:某一建筑物必须同时满足下列要求,才能称得上是智能建筑。 (1) 具有先进的楼宇自动控制系统(BA)能够根据人们的需要,自动...
1.智能大厦的概念 由于智能建筑发展历史较短,关于智能建筑,目前尚无统一的概念,但如今已被人们普遍接受的观点是:某一建筑物必须同时满足下列要求,才能称得上是智能建筑。 (1) 具有先进的楼宇自动控制系统(BA)能够根据人们的需要,自动调节楼宇内的各种机电设备,包括电梯系统、空调系统、照明系统、治安系统及消防系统等,以创造适合不同需求的人们所要求的不同的舒适工作环境,提高工作效率。
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关键词
智能大厦
楼宇
自动控制系统
智能建筑
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职称材料
智能大厦综合布线系统与应用
被引量:
1
13
作者
高文泉
张爱玲
《电子工程师》
2000年第4期33-35,共3页
阐述了智能大厦的组成、概念和综合布线系统 ,介绍了某大楼综合布线工程实例和建成后的使用情况。
关键词
智能大厦
智能建筑
综合布线系统
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职称材料
高压下Ir_2P晶体结构预测与物理性质
被引量:
1
14
作者
李鑫
马雪姣
+1 位作者
高文泉
刘艳辉
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期167-172,共6页
在压强为0~100 GPa范围内,运用CALYPSO结构搜索技术,结合基于密度泛函理论中的第一性原理方法,对Ir_2P晶体进行结构预测,并对预测出的晶体结构和物理性质进行细致的研究。在常压下,预测得出α-Ir_2P相具有立方结构,其空间群为Fm3m,与...
在压强为0~100 GPa范围内,运用CALYPSO结构搜索技术,结合基于密度泛函理论中的第一性原理方法,对Ir_2P晶体进行结构预测,并对预测出的晶体结构和物理性质进行细致的研究。在常压下,预测得出α-Ir_2P相具有立方结构,其空间群为Fm3m,与实验所得结构一致;压强为86.4 GPa时,发生结构相变,由α-Ir_2P相转变为β-Ir_2P相,为四方结构,其空间群为I4/mmm。在相变过程中,晶体体积发生坍塌,并且出现不连续变化的一级相变。电子性质计算表明,86.4 GPa时,预测的β-Ir_2P相中导带和价带在费米面附近发生交叠,表明其结构具有金属性质;电子局域函数计算表明,β-Ir_2P相具有丰富的化学键,包括极性共价键、金属键和离子键;Bader电荷转移计算得出,由于Ir原子具有较强的电负性,β-Ir_2P相中每个P原子向每个Ir原子电荷转移0.19e。
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关键词
高压
第一性原理
晶体结构预测
Ir2P
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职称材料
高压下BeP_2晶体结构与物性的理论研究
15
作者
高文泉
李鑫
+1 位作者
马雪姣
刘艳辉
《延边大学学报(自然科学版)》
CAS
2019年第1期31-35,共5页
将密度泛函理论第一性原理的计算方法与晶体结构预测CALYPSO软件相结合,在0~100 GPa下对BeP_2的结构进行预测,研究了其在高压下的结构与物性.预测结果表明:在常压下,α-BeP_2相为立方结构,其空间群为I4_1/amd,该结果与实验所得结构一致...
将密度泛函理论第一性原理的计算方法与晶体结构预测CALYPSO软件相结合,在0~100 GPa下对BeP_2的结构进行预测,研究了其在高压下的结构与物性.预测结果表明:在常压下,α-BeP_2相为立方结构,其空间群为I4_1/amd,该结果与实验所得结构一致.当压强为30.1 GPa时,α-BeP_2相发生结构相变,由α-BeP_2相转变为β-BeP_2相,其结构转变为四方结构,空间群为P4_32_12.当压强为35.4 GPa时,β-BeP_2相发生结构相变,由β-BeP_2相转变为γ-BeP_2相,其结构转变为正交结构,空间群为Imma.在相变过程中,晶体结构体积发生坍塌,坍塌率分别为7.1%和10.9%,属于一级相变.电子性质计算表明:在0 GPa下,α-BeP_2结构的带隙为0.457 eV;在30.1 GPa下,β-BeP_2结构的带隙为0.957 eV,为窄带隙半导体;在35.4 GPa下,γ-BeP_2结构在费米面处其导带与价带发生交叠,具有金属性.
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关键词
高压
第一性原理
BeP2
半导体
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职称材料
宠物犬的常见病及预防
16
作者
高文泉
《赤峰教育学院学报》
2003年第5期103-104,共2页
现在,养宠物犬的居民日渐增多。但由于缺乏正确的饲养管理和防疫知识,致使有些疾病如呕吐、腹泻、食物中毒、急性心力衰竭、咽喉炎、产后缺钙、难产、皮肤病、犬瘟热、肝炎的发病率很高,有的疾病如呕吐、腹泻发病占内科病的60%以上,而...
现在,养宠物犬的居民日渐增多。但由于缺乏正确的饲养管理和防疫知识,致使有些疾病如呕吐、腹泻、食物中毒、急性心力衰竭、咽喉炎、产后缺钙、难产、皮肤病、犬瘟热、肝炎的发病率很高,有的疾病如呕吐、腹泻发病占内科病的60%以上,而幼犬的重度呕吐、腹泻,可能引起脱水,造成体内电解质紊乱,酸中毒,极易导致急性心力衰竭,如不及时治疗,死亡率很高。宠物狗的消化系统疾病主要有呕吐、腹泻和食物中毒等。呕吐是多发病,是某些疾病的临床症状,如胃炎、食物中毒、刺激性药物、寄生虫、头部外伤、各种脑瘤、肝炎、肾炎等都可以引起呕吐。病因不同,呕吐的状态和呕吐物的性质也不一样,有的一天吐1—2次,较轻微,有的反复呕吐。呕吐物中有食物、粘液、黄色胆汁、寄生虫甚至血液。诊断时,应尽可能确定病因,以便及时对症治疗。腹泻是吸收和消化不良的一种综合病症,病因很多,如消化不良、肠炎、中毒、寄生虫病、胆囊炎、肝炎、细小病毒等,都可引起腹泻,严重时排泄物中常混有血液,甚至脓血便。食物中毒一般由于食入腐败变质和不新鲜的食物引起的中毒。
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关键词
食物中毒
急性心力衰竭
呕吐物
宠物犬
腹泻
死亡率
寄生虫病
消化系统疾病
饲养管理
肝炎
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职称材料
浅谈农牧学校畜牧专业教学中的素质教育
17
作者
高文泉
《大观周刊》
2012年第47期271-271,共1页
在中职畜牧教学方面,我们必须在教育思想、教材内容及教学方法上进行改革创新,以适应现实及时代发展的需要。面对中职畜牧教学的实际情况,我们应当改革传统的教育思想和教学模式,要在教学当中注重学生素质方面的培养,推行素质教育。
关键词
浅谈
农牧
畜牧
教学
素质
教育
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职称材料
基于第一性原理计算IrSb压力相变
18
作者
刘思远
缪宇
+4 位作者
马雪姣
李鑫
高文泉
程宇衡
刘艳辉
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期58-64,共7页
基于第一性原理并结合粒子群优化算法的卡里普索(CALYPSO)晶体结构预测方法,研究在0~100 GPa压力下,过渡金属铱和类金属锑组成的化合物IrSb的相变行为和物理性质。研究发现:在常压下,具有立方结构α-IrSb相的空间群为P63/mmc,与实验结...
基于第一性原理并结合粒子群优化算法的卡里普索(CALYPSO)晶体结构预测方法,研究在0~100 GPa压力下,过渡金属铱和类金属锑组成的化合物IrSb的相变行为和物理性质。研究发现:在常压下,具有立方结构α-IrSb相的空间群为P63/mmc,与实验结果一致;在压力为16.4 GPa时,发现了一种新型立方结构β-IrSb相,其空间群为C2/c;在76.5~100 GPa压力范围内,其稳定结构为空间群是P-1的γ-IrSb相。声子色散关系计算结果表明:α-IrSb相、β-IrSb相和γ-IrSb相在各自的布里渊区没有出现虚频,具有动力学稳定性。计算得出3个相的形成焓均小于零,说明3个相均具有热力学稳定性。能带结构计算结果表明:3个相的晶体结构在费米面附近导带和价带均发生交叠,3个相均呈现金属性。计算并讨论了各相的电荷转移情况,研究发现:Ir原子是受主,Sb原子是施主,电荷从Sb原子向Ir原子转移。
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关键词
高压
第一性原理
晶体结构预测
IrSb
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职称材料
CMP系统真空供给系统设计
被引量:
1
19
作者
李伟
高文泉
+1 位作者
柳滨
陈波
《电子工业专用设备》
2012年第3期45-49,共5页
研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,...
研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,保证真空度要求,同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析,研究机架的振型、固有频率,从而在结构设计上避免共振。
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关键词
化学机械抛光
真空供给系统
温度自动控制
ANSYS
WORKBENCH
模态分析
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职称材料
高中通用技术对学生创新能力的培养研究
20
作者
高文泉
《葡萄酒》
2023年第20期103-105,共3页
本研究旨在探讨高中通用技术课程对学生创新能力的培养,并从理论与实践相结合的角度进行分析。通过文献综述和实证研究,我们发现高中通用技术课程在提供跨学科知识的同时,也为学生提供了培养创新能力的重要平台。该课程通过项目实践、...
本研究旨在探讨高中通用技术课程对学生创新能力的培养,并从理论与实践相结合的角度进行分析。通过文献综述和实证研究,我们发现高中通用技术课程在提供跨学科知识的同时,也为学生提供了培养创新能力的重要平台。该课程通过项目实践、问题解决和实际操作等方式,培养了学生的创新思维、动手能力和团队协作能力。此外,本研究还分析了课程设计、教学方法和评估体系等因素对学生创新能力的影响,并提出了一些改进建议。研究结果表明,高中通用技术课程在学生创新能力培养方面具有积极的作用,有助于学生在未来的学术和职业生涯中更好地应对挑战。
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关键词
高中通用技术
创新能力
课程培养
实践教育
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职称材料
题名
基于超磁致伸缩材料的谐波传动研究
被引量:
2
1
作者
朱林剑
高文泉
包海涛
赵兴
杨卫化
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2009年第3期35-37,52,共4页
文摘
利用超磁致伸缩材料的伸缩特性,并结合谐波传动原理设计出了一种新型的电磁传动装置。首先,通过分析其工作原理,初步设计出了该传动装置的基本结构及其基本组成部件超磁致伸缩驱动器,并对所设计的驱动器进行了分析实验,效果显著。然后根据所设计的由四相超磁致伸缩驱动器构成的超磁致伸缩波发生器,提出了相应的控制方案,简要叙述了该传动实现调速、换向、精确定位等各项功能的控制系统软件设计方案。为此新型传动装置的成功研制奠定基础。
关键词
超磁致伸缩材料
谐波传动
控制系统
Keywords
giant magnetostrictive material
harmonic drive
control system
分类号
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM271 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
化学机械抛光设备关键技术研究
被引量:
3
2
作者
高文泉
丁彭刚
徐存良
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2012年第1期12-15,共4页
基金
国家02重大专项(项目编号:2009ZX02011-005A)
文摘
化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。介绍了CMP技术原理、晶片夹持、抛光台温度控制、抛光垫修整、终点检测、抛光后清洗等技术以及未来对国内CMP设备的展望。
关键词
化学机械抛光(CMP)
夹持
温度控制
终点检测
清洗
Keywords
chemical mechanical planarization(CMP)
clamp
temperature control
end-point detection
rinse technology
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
CMP设备中抛光垫修整机构的研究
被引量:
1
3
作者
高文泉
李伟
徐存良
郭强生
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2012年第8期1-3,30,共4页
基金
国家02重大专项(项目编号:2009ZX02011-005A)
文摘
介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定了该机构已达到设计要求。
关键词
抛光垫修整机构
修整力
气动控制系统
Keywords
Pad conditioner
Conditioning force
Pneumatic control system
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
超磁致伸缩谐波电动机控制系统研究
4
作者
朱林剑
高文泉
赵兴
包海涛
杨卫化
机构
大连理工大学
出处
《微特电机》
北大核心
2009年第11期46-48,56,共4页
文摘
介绍了一种新型电动机超磁致伸缩谐波电动机,它是根据谐波传动和超磁致伸缩材料电磁效应原理设计的。根据所设计的由四相超磁致伸缩驱动器构成的超磁致伸缩波发生器,通过分析其工作原理,提出了相应的控制方案,并设计了可快速响应的超磁致伸缩驱动器的驱动原理图。简要叙述了使电机实现调速、换向、精确定位等各项功能的控制系统软件设计方案。
关键词
谐波电动机
超磁致伸缩材料
谐波传动
电磁效应
控制系统
Keywords
harmonic motor
giant magnetostrictive material
harmonic drive
electromagnetic effect
control system
分类号
TM359.9 [电气工程—电机]
下载PDF
职称材料
题名
300mm硅片CMP设备装载技术研究
5
作者
高文泉
陈威
陈波
柳滨
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2011年第11期1-3,7,共4页
基金
国家02重大号项(项目编号:2009ZX02011-005A)
文摘
定位装载机构是硅片化学机械抛光(CMP)设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较,介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理,并最终通过在工艺试验中的实际应用确定了该机构已基本达到设计要求。
关键词
定位装载机构
化学机械抛光
CMP
控制原理
Keywords
Orientation and loading structure
Chemical mechanical polishing
CMP
Control theory
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
CMP透明膜厚测量设备发展历程
6
作者
周国安
王东辉
李伟
高文泉
詹阳
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2014年第2期1-5,共5页
文摘
论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分析了集成测量平台的特点,相比于离线测量,集成测量平台可获得较高的片间非均匀性.但会造成前5~7片的浪费,列举代表性集成平台NovaScan 2040,并分析其具体的技术特点:分析了在线传感器终点检测的优越性,其具有控制薄膜形貌及终点检测的功能,结合先进过程控制,可以达到极高的平整度;结合以上分析,指出今后CMP设备的发展方向。
关键词
化学机械平坦化
光学干涉法
椭圆偏振法
离线检测
集成测量平台
在线传感器测量
Keywords
Chemical mechanical planarization (CMP)
Spectroscopic reflectometry
Spectroscopic ellipscometry
Off-line standalone metrology
Integrated metrology
In-situ sensor metrology
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
6R机械手在CMP设备中的运动空间分析
7
作者
徐存良
陈波
高文泉
柳滨
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2011年第11期11-14,56,共5页
基金
国家02重大专项(2009ZX02011-005A)
文摘
工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程,确定了机械手工作空间;并利用D-H坐标法,建立6R机械手的数学模型,得到机械手末端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后,采用蒙特卡洛数值分析法,仿真了机械手的运动空间,结果显示,该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间,满足CMP设备的使用需求。
关键词
机械手
工作空间
蒙特卡洛法
Keywords
Manipulator
Working space
Monte-Carlo method
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
京原线地质病害遥感调查
8
作者
蔡双乐
高文泉
机构
中铁工程设计咨询集团有限公司
神华包神铁路有限责任公司
出处
《铁道勘察》
2004年第4期50-54,共5页
文摘
以京原铁路的地质病害为研究对象 (包括滑坡、崩塌落石等 ) ,通过室内收集资料 ,利用全色黑白航空像片进行地质病害判释 ,并以野外实地调查验证为事实依据 ,辅以室内资料处理和整理 ,对京原铁路地质病害的类型、产生、分布、发展进行分析 。
关键词
京原铁路
地质勘察
遥感勘察
地质病害
黑白航空像片
分类号
U212.22 [交通运输工程—道路与铁道工程]
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职称材料
题名
建筑软土地基加固处理技术的分析与探讨
被引量:
6
9
作者
高文泉
罗福贵
机构
地质工程勘察院
出处
《科技创新导报》
2012年第1期49-49,共1页
文摘
随着建筑行业的壮大和发展,新建的工程项目遇到了更多的不良地基,其中软土地基问题尤为明显。软土地基是一种强度较低、透水性能薄弱、压缩性较高的不良地基,如果建筑软土地基没有处理好,将会影响建筑物的正常使用。因此,笔者认为有必要对建筑软土地基加固处理技术进行分析与探讨,以提高软土地基的强度和稳定性,为建筑物的施工提供良好的地基条件。
关键词
软土地基
地基加固
地基处理技术
分类号
TU7 [建筑科学—建筑技术科学]
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职称材料
题名
养殖业的污染危害及应对措施
被引量:
3
10
作者
高文泉
机构
赤峰农牧学校
出处
《内蒙古农业科技》
2013年第5期133-134,共2页
文摘
养殖业的迅速发展为百姓生活提供了更多更优质的畜禽产品,也产生了大量的废弃物,对人、畜、禽的健康构成严重威胁,应从科学规划、正确选址、合理布局、规范管理等方面抓起,坚持种养结合,生态养殖,变废为宝,加大对养殖污染治理的投资,减少污染危害。
关键词
养殖业
污染危害
治理
分类号
X52 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
宠物狗常见病的预防
被引量:
1
11
作者
高文泉
机构
赤峰农牧学校
出处
《河南畜牧兽医》
2003年第10期49-49,共1页
关键词
宠物狗
预防
消化系统疾病
呼吸系统疾病
传染病
寄生虫病
难产
产后缺钙
分类号
S858.93 [农业科学—临床兽医学]
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职称材料
题名
智能大厦楼宇自动控制系统
被引量:
1
12
作者
高文泉
机构
江苏南京邮政局物业公司
出处
《电气时代》
2000年第2期43-43,共1页
文摘
1.智能大厦的概念 由于智能建筑发展历史较短,关于智能建筑,目前尚无统一的概念,但如今已被人们普遍接受的观点是:某一建筑物必须同时满足下列要求,才能称得上是智能建筑。 (1) 具有先进的楼宇自动控制系统(BA)能够根据人们的需要,自动调节楼宇内的各种机电设备,包括电梯系统、空调系统、照明系统、治安系统及消防系统等,以创造适合不同需求的人们所要求的不同的舒适工作环境,提高工作效率。
关键词
智能大厦
楼宇
自动控制系统
智能建筑
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
智能大厦综合布线系统与应用
被引量:
1
13
作者
高文泉
张爱玲
机构
南京邮政局技术发展公司
南京普天通信股份有限公司
出处
《电子工程师》
2000年第4期33-35,共3页
文摘
阐述了智能大厦的组成、概念和综合布线系统 ,介绍了某大楼综合布线工程实例和建成后的使用情况。
关键词
智能大厦
智能建筑
综合布线系统
Keywords
intelligent building,synthesis distribution system,project instance,system application
分类号
TU817 [建筑科学]
TU994 [建筑科学—市政工程]
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职称材料
题名
高压下Ir_2P晶体结构预测与物理性质
被引量:
1
14
作者
李鑫
马雪姣
高文泉
刘艳辉
机构
延边大学理学院物理系
出处
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期167-172,共6页
基金
国家自然科学基金(11764043
11474125
+3 种基金
51202084
11504007
11404035)
吉林省科技厅自然科学基金面上项目(20180101226JC)
文摘
在压强为0~100 GPa范围内,运用CALYPSO结构搜索技术,结合基于密度泛函理论中的第一性原理方法,对Ir_2P晶体进行结构预测,并对预测出的晶体结构和物理性质进行细致的研究。在常压下,预测得出α-Ir_2P相具有立方结构,其空间群为Fm3m,与实验所得结构一致;压强为86.4 GPa时,发生结构相变,由α-Ir_2P相转变为β-Ir_2P相,为四方结构,其空间群为I4/mmm。在相变过程中,晶体体积发生坍塌,并且出现不连续变化的一级相变。电子性质计算表明,86.4 GPa时,预测的β-Ir_2P相中导带和价带在费米面附近发生交叠,表明其结构具有金属性质;电子局域函数计算表明,β-Ir_2P相具有丰富的化学键,包括极性共价键、金属键和离子键;Bader电荷转移计算得出,由于Ir原子具有较强的电负性,β-Ir_2P相中每个P原子向每个Ir原子电荷转移0.19e。
关键词
高压
第一性原理
晶体结构预测
Ir2P
Keywords
high pressure
first-principles
crystal structure prediction
Ir2P
分类号
O521.2 [理学—高压高温物理]
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职称材料
题名
高压下BeP_2晶体结构与物性的理论研究
15
作者
高文泉
李鑫
马雪姣
刘艳辉
机构
延边大学理学院
出处
《延边大学学报(自然科学版)》
CAS
2019年第1期31-35,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11764043
11474125
+1 种基金
51202084)
吉林省科技厅自然科学基金面上项目(20180101226JC)
文摘
将密度泛函理论第一性原理的计算方法与晶体结构预测CALYPSO软件相结合,在0~100 GPa下对BeP_2的结构进行预测,研究了其在高压下的结构与物性.预测结果表明:在常压下,α-BeP_2相为立方结构,其空间群为I4_1/amd,该结果与实验所得结构一致.当压强为30.1 GPa时,α-BeP_2相发生结构相变,由α-BeP_2相转变为β-BeP_2相,其结构转变为四方结构,空间群为P4_32_12.当压强为35.4 GPa时,β-BeP_2相发生结构相变,由β-BeP_2相转变为γ-BeP_2相,其结构转变为正交结构,空间群为Imma.在相变过程中,晶体结构体积发生坍塌,坍塌率分别为7.1%和10.9%,属于一级相变.电子性质计算表明:在0 GPa下,α-BeP_2结构的带隙为0.457 eV;在30.1 GPa下,β-BeP_2结构的带隙为0.957 eV,为窄带隙半导体;在35.4 GPa下,γ-BeP_2结构在费米面处其导带与价带发生交叠,具有金属性.
关键词
高压
第一性原理
BeP2
半导体
Keywords
high pressure
first-principles
BeP2
semiconductors
分类号
O521.2 [理学—高压高温物理]
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职称材料
题名
宠物犬的常见病及预防
16
作者
高文泉
出处
《赤峰教育学院学报》
2003年第5期103-104,共2页
文摘
现在,养宠物犬的居民日渐增多。但由于缺乏正确的饲养管理和防疫知识,致使有些疾病如呕吐、腹泻、食物中毒、急性心力衰竭、咽喉炎、产后缺钙、难产、皮肤病、犬瘟热、肝炎的发病率很高,有的疾病如呕吐、腹泻发病占内科病的60%以上,而幼犬的重度呕吐、腹泻,可能引起脱水,造成体内电解质紊乱,酸中毒,极易导致急性心力衰竭,如不及时治疗,死亡率很高。宠物狗的消化系统疾病主要有呕吐、腹泻和食物中毒等。呕吐是多发病,是某些疾病的临床症状,如胃炎、食物中毒、刺激性药物、寄生虫、头部外伤、各种脑瘤、肝炎、肾炎等都可以引起呕吐。病因不同,呕吐的状态和呕吐物的性质也不一样,有的一天吐1—2次,较轻微,有的反复呕吐。呕吐物中有食物、粘液、黄色胆汁、寄生虫甚至血液。诊断时,应尽可能确定病因,以便及时对症治疗。腹泻是吸收和消化不良的一种综合病症,病因很多,如消化不良、肠炎、中毒、寄生虫病、胆囊炎、肝炎、细小病毒等,都可引起腹泻,严重时排泄物中常混有血液,甚至脓血便。食物中毒一般由于食入腐败变质和不新鲜的食物引起的中毒。
关键词
食物中毒
急性心力衰竭
呕吐物
宠物犬
腹泻
死亡率
寄生虫病
消化系统疾病
饲养管理
肝炎
分类号
S858.292 [农业科学—临床兽医学]
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职称材料
题名
浅谈农牧学校畜牧专业教学中的素质教育
17
作者
高文泉
机构
赤峰市农牧学校
出处
《大观周刊》
2012年第47期271-271,共1页
文摘
在中职畜牧教学方面,我们必须在教育思想、教材内容及教学方法上进行改革创新,以适应现实及时代发展的需要。面对中职畜牧教学的实际情况,我们应当改革传统的教育思想和教学模式,要在教学当中注重学生素质方面的培养,推行素质教育。
关键词
浅谈
农牧
畜牧
教学
素质
教育
分类号
G71 [文化科学—职业技术教育学]
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职称材料
题名
基于第一性原理计算IrSb压力相变
18
作者
刘思远
缪宇
马雪姣
李鑫
高文泉
程宇衡
刘艳辉
机构
延边大学理学院物理系
出处
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期58-64,共7页
基金
国家自然科学基金(11764043)
吉林省科技发展计划项目自然科学基金(20180101226JC)
文摘
基于第一性原理并结合粒子群优化算法的卡里普索(CALYPSO)晶体结构预测方法,研究在0~100 GPa压力下,过渡金属铱和类金属锑组成的化合物IrSb的相变行为和物理性质。研究发现:在常压下,具有立方结构α-IrSb相的空间群为P63/mmc,与实验结果一致;在压力为16.4 GPa时,发现了一种新型立方结构β-IrSb相,其空间群为C2/c;在76.5~100 GPa压力范围内,其稳定结构为空间群是P-1的γ-IrSb相。声子色散关系计算结果表明:α-IrSb相、β-IrSb相和γ-IrSb相在各自的布里渊区没有出现虚频,具有动力学稳定性。计算得出3个相的形成焓均小于零,说明3个相均具有热力学稳定性。能带结构计算结果表明:3个相的晶体结构在费米面附近导带和价带均发生交叠,3个相均呈现金属性。计算并讨论了各相的电荷转移情况,研究发现:Ir原子是受主,Sb原子是施主,电荷从Sb原子向Ir原子转移。
关键词
高压
第一性原理
晶体结构预测
IrSb
Keywords
high pressure
first-principle calculations
crystal structure prediction
IrSb
分类号
O521.2 [理学—高压高温物理]
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职称材料
题名
CMP系统真空供给系统设计
被引量:
1
19
作者
李伟
高文泉
柳滨
陈波
机构
北京中电科电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2012年第3期45-49,共5页
基金
国家02重大专项(2009ZX02011-005A)
文摘
研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,保证真空度要求,同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析,研究机架的振型、固有频率,从而在结构设计上避免共振。
关键词
化学机械抛光
真空供给系统
温度自动控制
ANSYS
WORKBENCH
模态分析
Keywords
CMP
Vacuum supply system
Automatic temperature control
ANSYS Workbench
Modal analysis
分类号
TN948.43 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
高中通用技术对学生创新能力的培养研究
20
作者
高文泉
机构
重庆市巫山第二中学
出处
《葡萄酒》
2023年第20期103-105,共3页
文摘
本研究旨在探讨高中通用技术课程对学生创新能力的培养,并从理论与实践相结合的角度进行分析。通过文献综述和实证研究,我们发现高中通用技术课程在提供跨学科知识的同时,也为学生提供了培养创新能力的重要平台。该课程通过项目实践、问题解决和实际操作等方式,培养了学生的创新思维、动手能力和团队协作能力。此外,本研究还分析了课程设计、教学方法和评估体系等因素对学生创新能力的影响,并提出了一些改进建议。研究结果表明,高中通用技术课程在学生创新能力培养方面具有积极的作用,有助于学生在未来的学术和职业生涯中更好地应对挑战。
关键词
高中通用技术
创新能力
课程培养
实践教育
分类号
C [社会学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于超磁致伸缩材料的谐波传动研究
朱林剑
高文泉
包海涛
赵兴
杨卫化
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
2
化学机械抛光设备关键技术研究
高文泉
丁彭刚
徐存良
《电子工业专用设备》
2012
3
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职称材料
3
CMP设备中抛光垫修整机构的研究
高文泉
李伟
徐存良
郭强生
《电子工业专用设备》
2012
1
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职称材料
4
超磁致伸缩谐波电动机控制系统研究
朱林剑
高文泉
赵兴
包海涛
杨卫化
《微特电机》
北大核心
2009
0
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职称材料
5
300mm硅片CMP设备装载技术研究
高文泉
陈威
陈波
柳滨
《电子工业专用设备》
2011
0
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职称材料
6
CMP透明膜厚测量设备发展历程
周国安
王东辉
李伟
高文泉
詹阳
《电子工业专用设备》
2014
0
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职称材料
7
6R机械手在CMP设备中的运动空间分析
徐存良
陈波
高文泉
柳滨
《电子工业专用设备》
2011
0
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职称材料
8
京原线地质病害遥感调查
蔡双乐
高文泉
《铁道勘察》
2004
0
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职称材料
9
建筑软土地基加固处理技术的分析与探讨
高文泉
罗福贵
《科技创新导报》
2012
6
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职称材料
10
养殖业的污染危害及应对措施
高文泉
《内蒙古农业科技》
2013
3
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职称材料
11
宠物狗常见病的预防
高文泉
《河南畜牧兽医》
2003
1
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职称材料
12
智能大厦楼宇自动控制系统
高文泉
《电气时代》
2000
1
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职称材料
13
智能大厦综合布线系统与应用
高文泉
张爱玲
《电子工程师》
2000
1
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职称材料
14
高压下Ir_2P晶体结构预测与物理性质
李鑫
马雪姣
高文泉
刘艳辉
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
15
高压下BeP_2晶体结构与物性的理论研究
高文泉
李鑫
马雪姣
刘艳辉
《延边大学学报(自然科学版)》
CAS
2019
0
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职称材料
16
宠物犬的常见病及预防
高文泉
《赤峰教育学院学报》
2003
0
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职称材料
17
浅谈农牧学校畜牧专业教学中的素质教育
高文泉
《大观周刊》
2012
0
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职称材料
18
基于第一性原理计算IrSb压力相变
刘思远
缪宇
马雪姣
李鑫
高文泉
程宇衡
刘艳辉
《高压物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
19
CMP系统真空供给系统设计
李伟
高文泉
柳滨
陈波
《电子工业专用设备》
2012
1
下载PDF
职称材料
20
高中通用技术对学生创新能力的培养研究
高文泉
《葡萄酒》
2023
0
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职称材料
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