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等离子体装置及等离子体生成方法
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作者 安藤真 高桥応明 《表面技术》 EI CAS CSCD 2008年第2期33-33,共1页
一种等离子体装置,包括将通过馈电部供给的高频电磁场(F)供给到处理容器内的缝隙天线,所述馈电部具有谐振腔,所述谐振腔构成谐振器,同时将馈电的高频电磁场(F)变换成旋转电磁场并供给所述缝隙天线。
关键词 等离子体装置 生成方法 高频电磁场 缝隙天线 谐振腔 供给 馈电 谐振器
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