期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Offner补偿器的结构设计与装调 被引量:30
1
作者 陈旭 刘伟奇 +4 位作者 康玉思 冯睿 魏仲伦 柳华 苗二龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期88-93,共6页
针对90nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向... 针对90nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向球差,补偿光线在非球面法线方向的偏离量。结果表明,初级像差和高级像差可很好地平衡,使剩余像差很小;MTF远远超过衍射极限;系统工作波长为632.8nm,F数为1.64,均方波差RMS<λ/1250;系统轴向像差<0.47μm,满足基本干涉成像条件;各方面指标均满足高精度检测补偿器的设计要求。最后,根据现有检测装置的精度对所设计的结果进行了公差分析,给出了较宽松的公差容限。公差分配后,系统综合残余波像差<0.00727λ,满足系统装调精度要求。 展开更多
关键词 非球面检测 Offner补偿器 公差分配
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部