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硅尖场发射冷阴极阵列的研制及性能研究 被引量：1
1
作者 刘卫东 罗恩泽 魏春蘅 《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第S1期160-161,165,共3页
本文报道了大面积、小尺寸硅尖锥场发射体阵列的制作工艺及性能测试,表明硅冷阴极阵列在平板显示器件、敏感器件等方面具有广泛应用前景.
关键词 硅 场发射 冷阴极
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