微镜单元的设计与加工工艺研究

详细介绍了微光学电子机械系统MOEMS领域的用于光学信号调制的微镜单元，分析了该微镜单元的工作原理及结构，推导了动态方程的有关参数，给出了仿真结果。首次提出了该结构前两阶频率的表达式，并与相应的有限元模态分析结果进行了比较。本文还对微镜的加工工艺作了简要介绍。