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915 MHz高功率MPCVD设备生长8-inch金刚石外延膜
被引量:
1
1
作者
杨国永
杨明阳
+6 位作者
王博
王跃忠
鲁云祥
宋惠
易剑
西村一仁
江南
《硬质合金》
CAS
2023年第2期98-104,共7页
金刚石外延膜具有良好的热学、光学和化学稳定性,同时能够满足大尺寸的制备需求,是红外窗口和散热应用中理想的材料。受限于目前金刚石应用中尺寸较小等问题,制备大尺寸高质量的金刚石一直是人们追求的目标。本文采用自行研制的915 MHz/...
金刚石外延膜具有良好的热学、光学和化学稳定性,同时能够满足大尺寸的制备需求,是红外窗口和散热应用中理想的材料。受限于目前金刚石应用中尺寸较小等问题,制备大尺寸高质量的金刚石一直是人们追求的目标。本文采用自行研制的915 MHz/75 kW的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度对直径8 inch(1 inch=25.4 mm)的金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Raman对其进行表征分析。结果表明,沉积温度会影响金刚石膜的晶体取向和结晶质量,过低的温度不利于金刚石膜规则地取向生长;而过高的温度会产生sp2石墨相,降低金刚石膜的结晶质量和取向生长。本文最终在1000°C的沉积温度和1.0%的甲烷浓度(甲烷与氢气流量之比为0.01)下成功制备了具有良好的结晶质量和厚度均匀的8 inch(111)取向的金刚石外延膜,该外延膜具有较低的氮杂质含量,生长表面均匀,无生长裂纹产生,晶粒尺寸在3~5 mm。红外透过测试结果表明12μm处的透过率达到了67.8%,8~12μm之间的平均透过率为67.3%。
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关键词
金刚石外延膜
大尺寸
MPCVD
红外窗口材料
915
MHz
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职称材料
金刚石基微机电系统制备方法的研究进展
2
作者
鲁云祥
满卫东
+2 位作者
罗红泰
陈梦唤
陈培钦
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第4期20-26,共7页
金刚石由于其独特的物理、化学和电学性质,以及以薄膜形式生长的可行性,是制造可靠、长寿命,微机电/纳米机电系统(MEMS/NEMS)材料的理想选择。近年来化学气相沉积金刚石薄膜生长的进展促进了金刚石在微机电系统的应用,实现了基于金刚石...
金刚石由于其独特的物理、化学和电学性质,以及以薄膜形式生长的可行性,是制造可靠、长寿命,微机电/纳米机电系统(MEMS/NEMS)材料的理想选择。近年来化学气相沉积金刚石薄膜生长的进展促进了金刚石在微机电系统的应用,实现了基于金刚石的MEMS和NEMS开发的新时代。但是由于其难以精确加工,目前仍未能大规模应用。本文对当前金刚石基MEMS的研究进展进行了阐述,主要探讨了当前主要应用的金刚石基MEMS系统的加工方法,并进行了进一步的展望。
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关键词
金刚石
微机电系统
激光加工
等离子体刻蚀
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职称材料
走进新奇特 享受新生活
3
作者
鲁云祥
《辽宁经济》
2005年第5期71-71,共1页
事因新而盛、因奇而美、因特而卓.建平县新奇特电子商行位于建平县图书馆一楼,与县新华书店、文化馆相邻.是一家集销售学生电子、办公电子、生活电子、防盗报警、闭路监控、可视对讲、可开启式防盗报警防护窗、车载VCD、电视、防盗器等...
事因新而盛、因奇而美、因特而卓.建平县新奇特电子商行位于建平县图书馆一楼,与县新华书店、文化馆相邻.是一家集销售学生电子、办公电子、生活电子、防盗报警、闭路监控、可视对讲、可开启式防盗报警防护窗、车载VCD、电视、防盗器等系列电子产品的专营公司.公司现有营销人员9名,18个商业服务网点,1个加工车间,基本形成了覆盖城乡的销售服务网络.
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关键词
奇特
生活
享受
销售服务网络
县图书馆
新华书店
电子产品
营销人员
服务网点
加工车间
电子商
建平县
文化馆
VCD
防盗器
基本形
报警
公司
专营
商业
城乡
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职称材料
大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究
被引量:
3
4
作者
杨国永
熊绍阳
+3 位作者
鲁云祥
王博
易剑
江南
《硬质合金》
CAS
2020年第5期350-356,共7页
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料。本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度和甲烷浓度对金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Ra...
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料。本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度和甲烷浓度对金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Raman对其进行了表征分析。结果表明,当沉积温度过高时,会导致等离子体中的活性粒子能量增大,从而使金刚石晶粒变大;当沉积温度过低时,会造成金刚石膜中的石墨相含量增加。甲烷浓度的变化会引起环境中含碳基团浓度的变化,影响原子氢对石墨相的刻蚀作用,进而导致金刚石膜内石墨相含量的明显变化,影响金刚石膜质量。本文最终选用850℃的沉积温度和5.0%的甲烷浓度作为金刚石膜生长的沉积参数,通过长时间生长成功制备了直径76.2 mm的金刚石自支撑膜,并对其进行了XRD和红外透过性能测试。红外透过测试结果表明制备的自支撑金刚石膜在8~12μm波段透过率良好,平均透过率达到了56.8%。
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关键词
MPCVD
金刚石膜
大尺寸
自支撑
散热材料
红外窗口材料
原文传递
题名
915 MHz高功率MPCVD设备生长8-inch金刚石外延膜
被引量:
1
1
作者
杨国永
杨明阳
王博
王跃忠
鲁云祥
宋惠
易剑
西村一仁
江南
机构
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
出处
《硬质合金》
CAS
2023年第2期98-104,共7页
基金
宁波市科技攻关重大专项《高功率芯片封装用大尺寸金刚石散热基底关键制造与加工技术》(20211ZDYF020198)
宁波市甬江引才工程青年创新人才项目《红外光学材料技术》(2021A-108-G)。
文摘
金刚石外延膜具有良好的热学、光学和化学稳定性,同时能够满足大尺寸的制备需求,是红外窗口和散热应用中理想的材料。受限于目前金刚石应用中尺寸较小等问题,制备大尺寸高质量的金刚石一直是人们追求的目标。本文采用自行研制的915 MHz/75 kW的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度对直径8 inch(1 inch=25.4 mm)的金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Raman对其进行表征分析。结果表明,沉积温度会影响金刚石膜的晶体取向和结晶质量,过低的温度不利于金刚石膜规则地取向生长;而过高的温度会产生sp2石墨相,降低金刚石膜的结晶质量和取向生长。本文最终在1000°C的沉积温度和1.0%的甲烷浓度(甲烷与氢气流量之比为0.01)下成功制备了具有良好的结晶质量和厚度均匀的8 inch(111)取向的金刚石外延膜,该外延膜具有较低的氮杂质含量,生长表面均匀,无生长裂纹产生,晶粒尺寸在3~5 mm。红外透过测试结果表明12μm处的透过率达到了67.8%,8~12μm之间的平均透过率为67.3%。
关键词
金刚石外延膜
大尺寸
MPCVD
红外窗口材料
915
MHz
Keywords
diamond epitaxial film
large-size
MPCVD
infrared window materials
915 MHz
分类号
TQ1 [化学工程]
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职称材料
题名
金刚石基微机电系统制备方法的研究进展
2
作者
鲁云祥
满卫东
罗红泰
陈梦唤
陈培钦
机构
等离子体化学与新材料湖北省重点实验室武汉工程大学
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第4期20-26,共7页
基金
国家自然科学基金(No.11175137)
文摘
金刚石由于其独特的物理、化学和电学性质,以及以薄膜形式生长的可行性,是制造可靠、长寿命,微机电/纳米机电系统(MEMS/NEMS)材料的理想选择。近年来化学气相沉积金刚石薄膜生长的进展促进了金刚石在微机电系统的应用,实现了基于金刚石的MEMS和NEMS开发的新时代。但是由于其难以精确加工,目前仍未能大规模应用。本文对当前金刚石基MEMS的研究进展进行了阐述,主要探讨了当前主要应用的金刚石基MEMS系统的加工方法,并进行了进一步的展望。
关键词
金刚石
微机电系统
激光加工
等离子体刻蚀
Keywords
diamond
micro-electromechanical system
laser processing
plasma etching
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
走进新奇特 享受新生活
3
作者
鲁云祥
机构
新奇特电子商行
出处
《辽宁经济》
2005年第5期71-71,共1页
文摘
事因新而盛、因奇而美、因特而卓.建平县新奇特电子商行位于建平县图书馆一楼,与县新华书店、文化馆相邻.是一家集销售学生电子、办公电子、生活电子、防盗报警、闭路监控、可视对讲、可开启式防盗报警防护窗、车载VCD、电视、防盗器等系列电子产品的专营公司.公司现有营销人员9名,18个商业服务网点,1个加工车间,基本形成了覆盖城乡的销售服务网络.
关键词
奇特
生活
享受
销售服务网络
县图书馆
新华书店
电子产品
营销人员
服务网点
加工车间
电子商
建平县
文化馆
VCD
防盗器
基本形
报警
公司
专营
商业
城乡
分类号
F426.6 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究
被引量:
3
4
作者
杨国永
熊绍阳
鲁云祥
王博
易剑
江南
机构
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
出处
《硬质合金》
CAS
2020年第5期350-356,共7页
基金
中国科学院科研仪器设备研制项目《2英寸以上金刚石单晶合成用大功率微波等离子体CVD装备研制》(ZDKYYQ20200001)。
文摘
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料。本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度和甲烷浓度对金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Raman对其进行了表征分析。结果表明,当沉积温度过高时,会导致等离子体中的活性粒子能量增大,从而使金刚石晶粒变大;当沉积温度过低时,会造成金刚石膜中的石墨相含量增加。甲烷浓度的变化会引起环境中含碳基团浓度的变化,影响原子氢对石墨相的刻蚀作用,进而导致金刚石膜内石墨相含量的明显变化,影响金刚石膜质量。本文最终选用850℃的沉积温度和5.0%的甲烷浓度作为金刚石膜生长的沉积参数,通过长时间生长成功制备了直径76.2 mm的金刚石自支撑膜,并对其进行了XRD和红外透过性能测试。红外透过测试结果表明制备的自支撑金刚石膜在8~12μm波段透过率良好,平均透过率达到了56.8%。
关键词
MPCVD
金刚石膜
大尺寸
自支撑
散热材料
红外窗口材料
Keywords
MPCVD
diamond films
large-area
free-standing
heat dissipation materials
infrared window materials
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
915 MHz高功率MPCVD设备生长8-inch金刚石外延膜
杨国永
杨明阳
王博
王跃忠
鲁云祥
宋惠
易剑
西村一仁
江南
《硬质合金》
CAS
2023
1
下载PDF
职称材料
2
金刚石基微机电系统制备方法的研究进展
鲁云祥
满卫东
罗红泰
陈梦唤
陈培钦
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018
0
下载PDF
职称材料
3
走进新奇特 享受新生活
鲁云祥
《辽宁经济》
2005
0
下载PDF
职称材料
4
大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究
杨国永
熊绍阳
鲁云祥
王博
易剑
江南
《硬质合金》
CAS
2020
3
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