期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Parylene C在压电喷头中的应用研究 被引量:1
1
作者 鲁伯林 智利莎 +1 位作者 柳永丽 邹赫麟 《机电技术》 2015年第4期117-120,126,共5页
为了对压电喷头进行有效防护,采用Parylene C作为保护层,对Parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当Parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时,能够满足Parylene C的耐压要求,且对压电单元振动位移的影响较... 为了对压电喷头进行有效防护,采用Parylene C作为保护层,对Parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当Parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时,能够满足Parylene C的耐压要求,且对压电单元振动位移的影响较小。采用氧等离子体刻蚀的方法对Parylene C进行图形化刻蚀,得到其刻蚀速率与刻蚀功率的变化关系。采用硅烷偶联剂预处理基底表面后,Parylene C与基底具有较强的结合强度。 展开更多
关键词 PARYLENE C 图形化刻蚀 压电喷头 结合强度
下载PDF
雏鹅也怕湿
2
作者 鲁伯林 《乡村科技》 2011年第11期34-34,共1页
一些养鹅户认为,鹅是水禽,所以不怕湿。这其实是一种错误的认识。雏鹅对环境湿度的要求虽不像对温度那样严格.但也绝不是不怕湿,更不是越湿越好。
关键词 雏鹅 环境湿度 养鹅
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部