激光剪切干涉三维轮廓测量

提出了一种基于激光剪切干涉条纹和3D标定技术的三维轮廓测量方法。使用激光剪切干涉实现面结构光代替了目前常见的投影仪面结构光。3D标定技术是把待测空间分割成为多个相互平行的等间距截面,每个截面分别进行定标,得到定标范围内的空间各点图像坐标与世界坐标的相关参数。并通过数据拟合得到任意位置处的标定参数。实验中,半导体激光器发出的激光经过剪切干涉形成面结构光,照射到待测物体表面。利用激光锁定成像技术消除环境光,利用3D标定方法还原条纹图像,最后获得3D点云数据。该测量方法速度快、能抗环境光干扰、能测量镜面目标轮廓、并且具有测量大曲面（平方米面积）的潜力。

激光剪切干涉三维形貌测量

针对物体表面的三维形貌测量问题,提出了一种基于激光剪切干涉条纹的三维形貌测量方法。该方法利用激光剪切干涉原理产生密集的干涉条纹,将干涉条纹阵列照射到待测表面。利用四步相移法和解包裹算法求解被测物体表面的连续相位,进而获取曲面表面高度信息,最后建立被测物体三维形貌。本文对楔形薄片和木块进行了测试,初步实验结果证明了该方法原理的可行性。该方法可以与显微镜相配合,进一步发展可用来测量微结构3D形貌,在微测量领域具有很大的应用前景。