EEPROM存贮单元的版图设计

本文阐述了浮栅ＥＥＰＲＯＭ存贮单元的工作原理及图形设计的方法考虑。比较和分析了四种不同的单元图形的利弊得失以及ＥＥＰＲＯＭ中低掺杂漏区（ＬＤＤ）结构的图形与工艺技术。