1
|
硅各向异性腐蚀<110>条补偿图形腐蚀前沿控制 |
鲍敏杭
沈绍群
胡澄宇
马青华
Chr.Burrer
J.Esteve
J.Bausells
S.Marco
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1994 |
11
|
|
2
|
微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文) |
鲍敏杭
孙远程
杨恒
王跃林
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2002 |
5
|
|
3
|
微机械梁-膜结构的压力传感器 |
鲍敏杭
王言
于连忠
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
|
1990 |
2
|
|
4
|
微机械加工技术发展概况(一) |
鲍敏杭
|
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
1998 |
4
|
|
5
|
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器 |
鲍敏杭
沈绍群
普琦
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《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
1994 |
1
|
|
6
|
微压压力传感器的结构改进 |
鲍敏杭
沈绍群
陈宏
马青华
|
《航空计测技术》
|
1995 |
5
|
|
7
|
微机械技术正面临新突破(二) |
鲍敏杭
|
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
1994 |
3
|
|
8
|
微机械技术正面临新突破(一) |
鲍敏杭
|
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
1993 |
1
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9
|
微机械力敏传感器及其发展动向 |
鲍敏杭
沈绍群
|
《电子科技导报》
|
1996 |
4
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10
|
第六届国际固态传感器与执行器会议介绍 |
鲍敏杭
|
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
1991 |
0 |
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11
|
智能剥离SOI高温压力传感器 |
黄宜平
竺士炀
李爱珍
鲍敏杭
沈绍群
王瑾
吴东平
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
9
|
|
12
|
单面多层结构硅微压传感器的研制 |
任建军
杨恒
李昕欣
沈绍群
鲍敏杭
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
|
1997 |
5
|
|
13
|
测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法 |
杨恒
鲍敏杭
沈绍群
李昕欣
张大成
武国英
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2000 |
4
|
|
14
|
MEMS神经元微探针研究 |
程正喜
黄维宁
周嘉
黄宜平
鲍敏杭
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
|
2006 |
3
|
|
15
|
MEMS传感器性能提高相关技术研究 |
黄树森
李昕欣
王跃林
鲍敏杭
|
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
|
2003 |
4
|
|
16
|
KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究 |
李昕欣
鲍敏杭
沈绍群
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1996 |
4
|
|
17
|
横向加速度传感器设计及特性研究 |
朱海军
陈宏
鲍敏杭
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1997 |
4
|
|
18
|
硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究 |
陈宏
鲍敏杭
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1995 |
13
|
|
19
|
形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 |
李昕欣
杨恒
沈绍群
鲍敏杭
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1997 |
2
|
|
20
|
硅微加速度传感器过载能力的研究 |
陈宏
沈绍群
鲍敏杭
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
|
1996 |
3
|
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