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薄膜系列实验的教学研究 被引量：3
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作者 熊永红 许巍 +2 位作者 麦远棠 孙超伦 林楠 《物理实验》 2006年第10期9-13,共5页
从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验.用离子束溅射制备金属薄膜,研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化,用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条... 从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验.用离子束溅射制备金属薄膜,研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化,用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条件得到的薄膜的表面形貌特征. 展开更多
关键词 薄膜 离子束溅射 原位动态电阻测量 扫描隧道显微镜
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