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低压磷扩散工艺研究
被引量:
2
1
作者
李吉
孙朋涛
+4 位作者
郑建宇
严金梅
魏红军
麻增智
赵朋松
《太阳能》
2016年第9期32-35,共4页
分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便...
分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试。
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关键词
低压扩散
源流量
源瓶压力
泵压力
扩散时间
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职称材料
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
2
作者
严金梅
李吉
+3 位作者
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
《太阳能》
2016年第2期26-28,共3页
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中...
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中的发黑情况消失。
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关键词
太阳电池
发黑硅片
扩散工艺
光致发光测试仪
下载PDF
职称材料
题名
低压磷扩散工艺研究
被引量:
2
1
作者
李吉
孙朋涛
郑建宇
严金梅
魏红军
麻增智
赵朋松
机构
晶澳太阳能有限公司
北京七星华创电子股份有限公司
出处
《太阳能》
2016年第9期32-35,共4页
文摘
分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试。
关键词
低压扩散
源流量
源瓶压力
泵压力
扩散时间
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
下载PDF
职称材料
题名
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
2
作者
严金梅
李吉
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《太阳能》
2016年第2期26-28,共3页
文摘
主要研究电池片生产过程中不同扩散工艺、扩散温度,以及扩散方式对发黑单晶硅片产生的影响,使用光致发光测试仪测试发黑单晶硅片经过不同的扩散工艺、扩散温度、扩散方式后的PL图。结果表明,电池片生产工艺中一定的扩散工艺会使硅片中的发黑情况消失。
关键词
太阳电池
发黑硅片
扩散工艺
光致发光测试仪
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
低压磷扩散工艺研究
李吉
孙朋涛
郑建宇
严金梅
魏红军
麻增智
赵朋松
《太阳能》
2016
2
下载PDF
职称材料
2
不同扩散工艺对发黑硅片的影响
严金梅
李吉
王惠
麻增智
靳迎松
赵朋松
《太阳能》
2016
0
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职称材料
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