多元气体配气仪设计及精度分析

提出了一种基于高精度质量流量控制器的动态配气方案,并给出了系统操作时序流程图。着重阐述配制标准气体原理、配气过程中的不确定度及其改善措施。针对气体流量控制的时变非线性、难以建立数学模型的特点,采用模糊控制算法对气体流量进行控制,提高了配气精度。该系统可连续配制、并供给浓度值连续可调的多元混合标准气体。