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ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究
被引量:
3
1
作者
王超楠
黄保进
+4 位作者
鲁听
罗笙芸
任达森
江志明
杨林
《包装工程》
CAS
北大核心
2018年第15期100-105,共6页
目的为了解决普通聚合物包装塑料对水、氧的阻隔能力不足,以及包装内容物货架时间短等问题,研究氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜制备工艺与阻隔性能之间的关系,探索其应用于包装材料的可行性。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO为靶材,在PET...
目的为了解决普通聚合物包装塑料对水、氧的阻隔能力不足,以及包装内容物货架时间短等问题,研究氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜制备工艺与阻隔性能之间的关系,探索其应用于包装材料的可行性。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO为靶材,在PET塑料表面沉积制备氧化锌薄膜包装材料,并详细分析射频溅射功率、沉积时间与工作气压对ZnO复合薄膜微观形貌、沉积速率以及阻隔性能的影响。结果当溅射功率为150 W,沉积时间为30 min,工作气压为0.8 Pa时,ZnO薄膜均匀且致密,阻隔能力最强,其氧气透过率(OTR)降低为1.23 m L/(m2·d),水蒸汽透过率(WVTR)降低为0.382 g/(m2·d)。与相同厚度下的PET原膜相比,所制备的ZnO高阻隔薄膜的透氧率降低了49.5倍,透湿率降低了17.6倍。结论射频溅射参数通过影响复合薄膜的微观形貌、致密程度、沉积速率以及沉积层厚度等方面对其阻隔能力会产生较大影响。
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关键词
射频磁控溅射
氧化锌薄膜
透氧率
透水率
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职称材料
气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响
2
作者
王超楠
杨林
+2 位作者
鲁听
黄保进
江志明
《科技风》
2018年第15期126-126,共1页
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响。实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且...
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响。实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密,其氧气透过率可以达到1.14 cc/(m^2.d),水蒸汽透过率为0.43 g/(m^2.d)。
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关键词
射频磁控溅射技术
氧化锌薄膜
氩气流量
透过性
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职称材料
题名
ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究
被引量:
3
1
作者
王超楠
黄保进
鲁听
罗笙芸
任达森
江志明
杨林
机构
贵州民族大学材料科学与工程学院
宁波华丰包装科技有限公司
出处
《包装工程》
CAS
北大核心
2018年第15期100-105,共6页
基金
贵州省教育厅青年科技人才成长项目(黔教合KY字[2016]162)
贵州民族大学人才引进项目(16yjrcxm019)
文摘
目的为了解决普通聚合物包装塑料对水、氧的阻隔能力不足,以及包装内容物货架时间短等问题,研究氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜制备工艺与阻隔性能之间的关系,探索其应用于包装材料的可行性。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO为靶材,在PET塑料表面沉积制备氧化锌薄膜包装材料,并详细分析射频溅射功率、沉积时间与工作气压对ZnO复合薄膜微观形貌、沉积速率以及阻隔性能的影响。结果当溅射功率为150 W,沉积时间为30 min,工作气压为0.8 Pa时,ZnO薄膜均匀且致密,阻隔能力最强,其氧气透过率(OTR)降低为1.23 m L/(m2·d),水蒸汽透过率(WVTR)降低为0.382 g/(m2·d)。与相同厚度下的PET原膜相比,所制备的ZnO高阻隔薄膜的透氧率降低了49.5倍,透湿率降低了17.6倍。结论射频溅射参数通过影响复合薄膜的微观形貌、致密程度、沉积速率以及沉积层厚度等方面对其阻隔能力会产生较大影响。
关键词
射频磁控溅射
氧化锌薄膜
透氧率
透水率
Keywords
RF magnetron sputtering
ZnO Film
OTR
WVTR
分类号
TB487 [一般工业技术—包装工程]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响
2
作者
王超楠
杨林
鲁听
黄保进
江志明
机构
贵州民族大学材料科学与工程学院
宁波华丰包装科技有限公司
出处
《科技风》
2018年第15期126-126,共1页
基金
贵州民族大学人才引进项目(16yjrcxm019)
贵州民族大学学生科研项目(16bksxm011)
文摘
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响。实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密,其氧气透过率可以达到1.14 cc/(m^2.d),水蒸汽透过率为0.43 g/(m^2.d)。
关键词
射频磁控溅射技术
氧化锌薄膜
氩气流量
透过性
Keywords
RF magnetron sputtering
Zinc oxide film
Argon flow
Transparency
分类号
TQ325.12 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究
王超楠
黄保进
鲁听
罗笙芸
任达森
江志明
杨林
《包装工程》
CAS
北大核心
2018
3
下载PDF
职称材料
2
气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响
王超楠
杨林
鲁听
黄保进
江志明
《科技风》
2018
0
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职称材料
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