利用LIGA技术制作过滤介质

LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法。将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性能、流阻大小、可再生性等过滤性能。实验中,通过选用不同的材料、适当调整工艺步骤、以及结合微细电火花加工方法等,分别制作出了胶结构、镍结构、不锈钢、以及金结构等多组材料不同、过滤孔隙形状、大小各异的过滤介质,能满足多种不同过滤场合的需求。

LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究

LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点 ,是一种先进的微细加工方法。实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中 ,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构 ,满足新型正电子慢化体的制备要求。

3B1束线上LIGA掩模的设计研究

BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。

LIGA工艺在工程中的两类应用

本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。

BSRF上的微细塑铸研究

利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 。

基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。