四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用

光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载。经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载。在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用。电子诱导脱附实验(ESD)是研究光电解吸过程的重要手段。本课题针对不同材料的样品及不同样品处理工艺情况下,使用MPH 200M四极质谱仪测量样品室中残余气体分压,得到了真空室材料受电子激发后的残余气体成分,并利用上述气体分压计算出主要残气气体成分的电子激发解吸系数同入射电子累积剂量的关系。为光束线真空系统维护提供了实验数据。

应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计

涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求。设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计。测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台。

一种旋片泵抽速曲线数值化方法的探讨

在真空系统设计中,常常要根据真空泵的抽速曲线来计算抽气时间。然而如果抽速按照常数计算则会有较大的误差,因此作者对真空泵抽速曲线数值化进行了研究。针对各种真空泵抽速曲线的特点,本文选用曲线拟合的方法对旋片泵抽速曲线中已知点进行重构,再借助Visual Basic6.0语言来编译拟合曲线中取样点的压力-抽速值,可以实现对真空泵抽速曲线的数值化。经实例2XZ-8旋片泵抽速曲线拟合后,计算得到的抽气时间精度提高约22%。结论表明,对旋片泵抽速曲线进行数值化能有效提高抽气时间,管道平均压力等参数的计算精度。

真空管道流导计算中平均压力取值的误差分析与计算方法

真空管道的流导,又叫做通导能力。它是管道的重要性能参数,是设计真空系统时必须考虑的因素之一。在计算粘滞流管道流导时,流导跟管道内的平均压力有关,通常的方法是近似把管道入口压力作为管道平均压力。但是当管道较长、真空泵抽速较低或管道入口压力较小时,上述近似方法的误差就变大了。本文对粘滞流下管道的平均压力的取值进行了讨论,分析了近似取管道高压端压力为平均压力时所产生的误差,并提供了粘滞流下管道的平均压力的计算方法等。

基于VB和Access数据库的真空系统设计软件构建

本文通过大量的调研工作并根据真空系统设计原理和设计流程,建立了真空系统设计软件开发的过程模型,采用Visual Basic 6.0与Access数据库构建了真空系统设计应用软件。软件主要由启动模块、真空室参数设置模块、真空泵参数设置模块、抽气时间计算模块、保存工程模块等主要模块组成,适用于各真空段。采用计算机软件设计真空系统可以提高计算精度,大幅度提高真空系统的设计效率,缩短开发周期。

旋片泵输出功率控制问题的探讨

旋片式真空泵是最常用的真空获得设备之一，它工作范围广，可以单独使用也可以作为其它真空泵的前级泵。但是旋片泵的功率随着入口压力的变化而变化，有时甚至会相差1-2倍的功率，因此驱动旋片泵的电机大部分时间处于轻载运行，电机的效率因而降低了。本文通过分析旋片泵工作效率的影响因素与各种功率控制方法，结合变频式电机的应用实现对旋片式真空泵驱动电机的功率控制。

基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究

电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KEK-ESD)装置试验数据为参考,研制了一台在150e V～1000e V电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。