双道X射线分光光谱仪及其与扫描电子显微镜的匹配

本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B^5(Be^4)～U^(92);波长分辨率△λ/λ为1～5×10^(-3)(Na^(11)～U^(92))及1～5×10^(-2)(B^5～F^9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na^(11)～U^(92)为10^(-3)％量级,B^5～F^9为10^(-2)％量级。

阴极发光仪

阴极发光仪是物质在电子束轰击下产生的一种发光现象。利用阴极发光的颜色、强度及其显微分布特征和激发条件可综合研究材料中的缺陷、杂质及其状态,是材料科学中一个重要的测试方法。应用阴极发光技术最成功的领域要算是地质和矿物物理学。矿物的阴极发光特征,是近些年来成岩作用研究中的一个重要内容,它可以帮助鉴别矿物,并推测矿物内含的杂质元素,可以区分不同世代胶结物的胶结顺序,恢复岩石原来的结构构造特征,判别矿物的成因和来源以及孔隙的类型等。