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基于偏振透射结构光的透明物体表面缺陷检测方法 被引量:15
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作者 王维 王杰 +2 位作者 黄易杨 岳慧敏 刘永 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第18期120-127,共8页
玻璃、透镜等透明物体在光学系统中有广泛的应用,表面质量优劣对系统性能有较大的影响。利用光的偏振特性,提出一种基于偏振透射结构光的表面缺陷检测方法。利用所搭建的透射系统产生偏振透射条纹结构光,该结构光投射到被测物体表面,经... 玻璃、透镜等透明物体在光学系统中有广泛的应用,表面质量优劣对系统性能有较大的影响。利用光的偏振特性,提出一种基于偏振透射结构光的表面缺陷检测方法。利用所搭建的透射系统产生偏振透射条纹结构光,该结构光投射到被测物体表面,经被测物体后发生变形;然后采集变形条纹,提取相位信息,解出调制度,得到被测物体的表面缺陷信息。实验结果表明:所提方法能够消除灰尘的影响,并可以有效提高系统信噪比,有望用于平板厚透镜、大曲率光学透镜等透明物体的缺陷检测。 展开更多
关键词 测量 表面缺陷检测 透射光学元件 偏振透射结构光 条纹调制度
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