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扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立
1
作者 郎文鹏 赵维琴 +1 位作者 闻国富 黄环轩 《工业仪表与自动化装置》 1996年第4期15-16,共2页
扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立上海大学自动化学院４９号信箱（上海：２０００７２）郎文鹏，赵维琴，闻国富，黄环轩引言由于传感器的精确度及可靠性对整个仪表系统的精度产生致命的影响，因而要设计高精度仪表，必须选择较为... 扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立上海大学自动化学院４９号信箱（上海：２０００７２）郎文鹏，赵维琴，闻国富，黄环轩引言由于传感器的精确度及可靠性对整个仪表系统的精度产生致命的影响，因而要设计高精度仪表，必须选择较为可靠及静态、动态性能均能满足要求的... 展开更多
关键词 压力传感器 传感器 扩散硅 漂移补偿
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