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金属氧化物薄膜的超声雾化喷涂 被引量:5
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作者 黄芳龙 陈旦初 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期418-420,共3页
薄膜技术已广泛用于工业各部门。SnO_2、In_2O_3、ITO等透明导电薄膜是摄象管、太阳电池、光敏元件、液晶显示、抗静电层、防霜膜及家用电器的重要材料。随着工业技术的发展,薄膜技术必将深入到工业部门的更多领域。因此,寻找高质量、... 薄膜技术已广泛用于工业各部门。SnO_2、In_2O_3、ITO等透明导电薄膜是摄象管、太阳电池、光敏元件、液晶显示、抗静电层、防霜膜及家用电器的重要材料。随着工业技术的发展,薄膜技术必将深入到工业部门的更多领域。因此,寻找高质量、廉价的薄膜制造方法显得重要起来。迄今为止,薄膜的制造方法有:化学喷涂、化学气相沉积等化学方法,真空蒸发、溅射、离子镀等物理方法和辉光放电气相沉积的物理化学方法。其中化学喷涂,虽然成本低、能大面积连续生产,但薄膜质量难于控制,对膜层质量要求高的场合不能使用;化学气相沉积、真空镀膜和辉光放电气相沉积,虽能获得高质量膜层,但成本高,难于大面积化。 展开更多
关键词 金属氧化物 簿膜 雾化喷涂 超声
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BaRuO3电阻薄膜制备技术
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作者 黄芳龙 《电子元件》 1996年第1期20-23,共4页
MRuO3系电阻薄膜是高热稳定的电阻薄膜材料。本文介绍用高频反应溅射制备BaRuO3电阻薄膜技术。并用电镜、x-射线衍射仪、多功能电子能谱仪观察测得BaRaO3薄膜的形貌、晶体结种、组成。结果表明:高频反应溅射制备的... MRuO3系电阻薄膜是高热稳定的电阻薄膜材料。本文介绍用高频反应溅射制备BaRuO3电阻薄膜技术。并用电镜、x-射线衍射仪、多功能电子能谱仪观察测得BaRaO3薄膜的形貌、晶体结种、组成。结果表明:高频反应溅射制备的BaRuO3薄膜为六方结构(110)取向的多晶薄膜,由高低温下的电阻测定表明,该膜质有稳定的电阻温度系数和高温热稳定性能,是理想的发热电阻材料。 展开更多
关键词 薄膜制备 电阻材料 镣酸盐
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