表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响

建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差.

一种新型电容式压力传感器(英文)

提出了一种新的电容式压力传感器,传感器结构为由Al/SiO2/n-typeSi等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造,制造过程仅需三块掩模板.对不同边长传感器进行测试,在410～1010hPa的动态范围,边长为1000,1200和1400μm的压力传感器,相应灵敏度分别为1.8,2.3和3.6fF/hPa.边长为1500μm的传感器,其灵敏度为4.6fF/hPa,全程非线性度为6.4%,最大滞回误差为3.6%.分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因.

RF MEMS开关吸合电压的分析

吸合电压是MEMS静电执行器的重要参数,针对RFMEMS开关,详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压.对于执行电压是脉冲方式而言,开关梁受迫振动,不同于准静态方式,此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压,计算表明比准静态吸合电压小8%.通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式,详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压.分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响,阻尼使得开关的两种吸合电压差别变小.最后分析了射频输入功率对开关吸合电压的影响,射频输入功率会降低吸合电压,如果输入功率足够大,吸合电压将会降为零,此时MEMS开关会发生自执行失效.

对新时期党史研究的几点看法

1976年10月6日粉碎江青反革命集团到现在,已经过了15个年头.这一段历史是中国共产党领导全党、全军和全国各族人民开创社会主义现代化建设的新时期.党史工作者对这一时期的党史进行了开拓性的探讨与研究,出版了许多不同版本的历史新篇章,有关的论文、资料及专著等也纷纷问世,成果累累. 现在,笔者对新时期党史研究中的几个问题,谈点粗浅的看法,以求教于党史工作者.

单轴应力下热氧化SiO_2的介电电致伸缩系数研究

微机电系统和集成电路中常用的热氧化SiO2是各向同性材料,研究了其在单轴应力场中介电常数的变化规律。依据介质在自由和束缚两种边界条件下受到单轴应力作用产生的应变不同,从电动力学基本关系出发推导了各向同性电介质两种边界下的介电电致伸缩系数计算公式,表明介电电致伸缩系数是与电介质的初始介电常数、杨氏模量和泊松比有关的常数。计算得到热氧化SiO2薄膜在自由和束缚条件下的介电电致伸缩系数M12分别为-0.143×10-21和-0.269×10-21 m2/V2。搭建了基于三维微动台的微位移加载系统,测量了在单轴应力下微悬臂梁SiO2薄膜电容的变化,测量得到热氧化SiO2薄膜的M12为(-0.19±0.01)×10-21 m2/V2,表明实际SiO2薄膜介质层的边界条件处于自由和束缚之间。

表面微机械MEMS温度传感器研究

提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 m V/℃,具有良好的稳定性。

片上加热电容式湿度传感器研究

提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析,并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下,传感器温度上升约30℃,且温度分布均匀,传感器敏感区域温差<4℃。在加热与不加热条件下,分别对传感器的湿度敏感特性与响应时间特性进行了测试。不加热时,传感器的灵敏度为0.009 13 p F/%r H,回滞≈0.12 p F,响应时间约120.8 s;以5 V脉冲信号加热后,传感器灵敏度为0.009 03p F/%r H,最大回滞≈0.025 p F,响应时间约75.2 s。加热后传感器性能有了显著提高。

基于LCP衬底的柔性湿度传感器研究（英文）

介绍了一种新型柔性电容式湿度传感器。该柔性电容式湿度传感器采用液晶高分子聚合物(LCP)作为衬底,金属铜(Cu)作为叉指电极,聚酰亚胺(PI)作为湿度传感器的湿敏介质。LCP衬底的应用使得该传感器具有良好的柔性和可弯曲性。该柔性湿度传感器与传统硅基湿度传感器相比较具有成本低廉、结构简单、制作方便等优点。该柔性湿度传感器在25℃下的平均灵敏度为0.04%p F/%RH,最大回滞为±4.16%RH,其平均灵敏度在25℃~70℃范围内受温度影响较小。在25℃下其响应时间和恢复时间分别为36 s和39 s。该柔性湿度传感器可以应用于环境湿度检测、人工电子皮肤系统和可穿戴设备等领域。

基于TMAH溶液的PN结自停止腐蚀的研究

MEMS器件的性能与尺寸密切相关。介绍了一种精确控制器件尺寸的各向异性腐蚀方法——基于改进TMAH溶液的PN结自停止腐蚀。这种方法几乎不刻蚀铝,从而与CMOS工艺良好地兼容。应用这种办法正面腐蚀,成功释放结构,尺寸与设计比较符合,证明了这种方法的可行性及易操作性。

只有社会主义才能救中国——关于1920—1921年的“社会主义论战”

中国人民为了国家繁荣富强,使中华民族跻于世界先进民族之林,历尽艰辛,前仆后继,终于在“五四”时期,找到了只有社会主义才能救中国这条颠扑不破的真理.六十多年来,在中国共产党的领导下,无数革命先辈,为了捍卫这条真理,在中国实践社会主义,在各个时期与形形色色的敌人进行了不懈的斗争,才赢得了社会主义的今天.今天,我们回顾党成立前夕的历史,学习革命先驱们为救国救民,勇敢捍卫马克思主义真理,坚持社会主义道路的革命精神,对于我们坚定马克思主义信仰,坚持社会主义道路,加速“四化”建设,是有意义的.

十一届三中全会以来的法制建设

建国以来,我国法制建设经历了曲折发展的过程。往这个过程中,既有创立、开拓和发展社会主义法制的重大成就,也有失误和“文化大革命”对法制的灾难性的破坏;既有丰富的经验,也有深刻的教训。1978年12月召开的中国共产党十一届三中全会,总结了建国以来特别是“文化大革命”的经验教训,作出了发展社会主义民主、健全社会主义法制的重大决策,提出“使民主制度化、法律化,使这种制度和法律具有稳定性、连续性和极大的权威,做到有法可依,有法必依,执法必严,违反必究”的指导思想,实现了我国社会主义法制史上的伟大转折。

关于“和平民主新阶段”的提法

文化大革命中,林彪、“四人帮”的那个“顾问”和戚本禹等,曾大肆批判刘少奇同志关于“和平民主新阶段”的提法,说他“在抗日战争胜利以后,提出‘和平民主新阶段’的投降主义路线”。这是对刘少奇同志的政治陷害,也是对历史事实的严重歪曲。