偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计(英文)

提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器。改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声。读出电路采用0.35μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能。测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72%。在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140μV。

时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构(英文)

设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMOS工艺,设计了整个读出电路.测试结果显示,在自检测模式下,输出对自检测电压的灵敏度是0.3 V/V.