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硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响
被引量:
6
1
作者
周谧
屈敏
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黎展容
蒲晓东
《有机硅材料》
CAS
2010年第6期377-379,共3页
讨论了工业硅粉中Fe、Al、Ca等杂质的含量对三氯氢硅合成系统的启动以及正常运行时的影响,并选择不同杂质含量的硅粉进行实验,以找到最适合三氯氢硅合成的生产工艺。
关键词
三氯氢硅
合成
工业硅粉
三氯化铝
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职称材料
题名
硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响
被引量:
6
1
作者
周谧
屈敏
黎展容
蒲晓东
机构
四川新光硅业科技有限公司
出处
《有机硅材料》
CAS
2010年第6期377-379,共3页
文摘
讨论了工业硅粉中Fe、Al、Ca等杂质的含量对三氯氢硅合成系统的启动以及正常运行时的影响,并选择不同杂质含量的硅粉进行实验,以找到最适合三氯氢硅合成的生产工艺。
关键词
三氯氢硅
合成
工业硅粉
三氯化铝
Keywords
trichlorosilane
synthetic
industrial silicon powder
aluminum chloride
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响
周谧
屈敏
黎展容
蒲晓东
《有机硅材料》
CAS
2010
6
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