基于显微视觉的宏/微双驱动微动台系统

提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差。采用显微视觉反馈控制微动台的移动和定位,实现定位机构的全闭环反馈控制,同时提出了带运动规划和估算的运动控制策略,提高了系统的运行速度。实验研究表明:系统的动态和稳定性能良好,该微动台的最大行程80mm,定位精度1μm。

导流结构在液体流量标准装置中的应用

一、装置的流量稳定性要素及稳压方法 按照JJG164-2000《液体流量标准装置检定规程》和JJG643-2003《标准表法流量标准装置检定规程》,装置的不确定度主要由晶振、计时器、标准器（衡器、量器或标准表）、换向器等决定。只要装置中选择高准确度的标准器、计时器和优良的换向器,