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双极性脉冲磁控溅射电源设计 被引量:3
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作者 李波 李博婷 +8 位作者 叶超 谭巍巍 黄斌 赵娟 鲁向阳 黄宇鹏 张信 齐卓筠 康传会 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期108-113,共6页
双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0~800V可调、脉冲宽度20~200μs可调、频率0~60Hz可调、脉冲电流最大幅值约150A的双极性脉冲电源,分别给出了该电源在水电阻负载和等... 双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0~800V可调、脉冲宽度20~200μs可调、频率0~60Hz可调、脉冲电流最大幅值约150A的双极性脉冲电源,分别给出了该电源在水电阻负载和等离子体负载下的实验结果。设计上采用DSP控制开关电源的方式对储能电容器进行恒流充电;综合应用FPGA,PLC及触摸屏组成人机交互系统,控制输出光脉冲信号,经负压偏置驱动后使桥式结构的脉冲形成网络产生正负交替双极性脉冲。通过大量实验论证,该电源解决了等离子体负载放电打弧等问题,达到了理想的溅射效果,满足了指标要求。 展开更多
关键词 双极性脉冲 FPGA 桥式脉冲形成网络 等离子体
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200kV全固态Marx结构方波脉冲电源设计 被引量:3
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作者 丁明军 李玺钦 +10 位作者 冯宗明 任丹 齐卓筠 蓝欣 叶超 黄斌 任青毅 贾兴 谢敏 欧阳艳晶 李洪涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期102-106,共5页
采用功率IGBT串联组合模块作为放电开关,设计了16级Marx结构的脉冲电源,能够产生可调高压方波脉冲。由9支耐压3kV的IGBT串联组成最大工作电压12.5kV的串联组合模块;通过磁隔离触发方式控制各级IGBT的同步导通和关断。输出电压从几kV至20... 采用功率IGBT串联组合模块作为放电开关,设计了16级Marx结构的脉冲电源,能够产生可调高压方波脉冲。由9支耐压3kV的IGBT串联组成最大工作电压12.5kV的串联组合模块;通过磁隔离触发方式控制各级IGBT的同步导通和关断。输出电压从几kV至200kV可调、输出脉宽随外部触发信号宽度在1.5~10μs范围内可调、前沿小于500ns、后沿小于2.3μs;在输出电压大于100kV、输出电流20A时顶降小于2%。 展开更多
关键词 脉冲功率 固态开关 方波脉冲 Marx结构
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一种新型等离子体磁控溅射镀膜电源设计 被引量:2
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作者 李波 赵娟 +9 位作者 李洪涛 叶超 谭巍巍 黄斌 鲁向阳 黄宇鹏 张信 欧阳艳晶 康传会 齐卓筠 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期119-123,共5页
磁控溅射镀膜电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌靶和锡靶溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0~800V可调、脉冲宽度5~200μs可调、频率0~60Hz可调、在脉冲电流最大幅值约150A的磁控溅射镀膜电源,分别给出了该电源... 磁控溅射镀膜电源是磁控溅射系统中的关键设备之一。根据铌靶和锡靶溅射处理装置的技术要求,研制了一套输出电压0~800V可调、脉冲宽度5~200μs可调、频率0~60Hz可调、在脉冲电流最大幅值约150A的磁控溅射镀膜电源,分别给出了该电源在铌靶负载和锡靶负载下的实验结果。设计上采用高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路方法,解决了高功率磁控溅射在重复频率工作下有时不能成功溅射粒子、电离时刻不一致、溅射起弧打火靶面中毒、溅射效率低等问题,降低了磁控溅射装置内气体的工作气压,实现低气压溅射镀膜,提高了靶材的溅射效率,减小薄膜表面粗糙度。通过大量实验论证,该电源达到了理想的溅射效果,满足了指标要求。 展开更多
关键词 高压预电离 双极性脉冲 低气压溅射 等离子体
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针对精密时间间隔测量仪电路结构的优化
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作者 欧阳艳晶 叶超 +1 位作者 贾兴 齐卓筠 《高能量密度物理》 2014年第2期80-83,共4页
大型爆轰实验对测试仪器的结构强度、小型化、抗干扰能力、可靠性等有很高的要求。为了使精密时间间隔测量仪更好地应用于爆轰实验,对该仪器进行了优化设计,并详细介绍了相应的优化措施。优化后的精密时间间隔测量仪在便携性、抗干扰... 大型爆轰实验对测试仪器的结构强度、小型化、抗干扰能力、可靠性等有很高的要求。为了使精密时间间隔测量仪更好地应用于爆轰实验,对该仪器进行了优化设计,并详细介绍了相应的优化措施。优化后的精密时间间隔测量仪在便携性、抗干扰能力、可靠性以及装配效率方面有较大的提高。 展开更多
关键词 结构优化 小型化 可靠性
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电子产品手工焊接的误区和正确操作
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作者 欧阳艳晶 齐卓筠 任丹 《高能量密度物理》 2014年第3期134-137,共4页
电子产品在电子研制阶段、维修阶段、小批量生产以及一些特殊元器件的电装中,不可避免地必须采用手工焊接方式,因此手工焊接的可靠性对电子产品的性能起着至关重要的作用。目前,部分电装人员在手工焊接过程中存在一些操作误区,主要... 电子产品在电子研制阶段、维修阶段、小批量生产以及一些特殊元器件的电装中,不可避免地必须采用手工焊接方式,因此手工焊接的可靠性对电子产品的性能起着至关重要的作用。目前,部分电装人员在手工焊接过程中存在一些操作误区,主要集中在焊接材料、工具的选用,电子器件装接前的处理,手工焊接过程中的温度、时间、焊料、烙铁的控制以及焊接后的扫尾工作等细节中,这些细节直接影响手工焊接质量及电子产品的性能。文中指正手工焊接中的误区,规范电子产品手工焊接,帮助电装人员提高手工焊接技能,从而进一步提高电子产品的性能。 展开更多
关键词 手工焊接 误区 正确操作
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高压脉冲发生器控制单元的线路优化
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作者 齐卓筠 欧阳艳晶 +1 位作者 任丹 丁明军 《高能量密度物理》 2013年第4期175-178,共4页
根据各种大型爆轰实验对测试仪器外观及性能上更高的要求,对高压脉冲发生器控制单元的线路进行了优化。针对以往高压脉冲发生器控制单元的布线复杂,连接布线耗时,设备可靠性不高等缺点,采用模块化方式代替原有的连线方式对高压脉冲... 根据各种大型爆轰实验对测试仪器外观及性能上更高的要求,对高压脉冲发生器控制单元的线路进行了优化。针对以往高压脉冲发生器控制单元的布线复杂,连接布线耗时,设备可靠性不高等缺点,采用模块化方式代替原有的连线方式对高压脉冲发生器控制单元的线路进行优化,结果表明:采用优化线路后,降低了布线出错率,提高了装配人员的工作效率及仪器的可靠性,优化了机箱结构。 展开更多
关键词 高压脉冲发生器 PLC控制模块 线路优化 可靠性
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高性能电子产品手工焊接的要求及技巧
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作者 任丹 欧阳艳晶 齐卓筠 《高能量密度物理》 2014年第2期88-92,共5页
手工焊接在电子技术中具有非常重要的地位。手工焊接过程中有很多因素直接影响着电子产品的性能与可靠性。本文介绍了手工焊接的基本要求和技巧、焊接工具的选择与使用,需要注意的事项以及手工焊接过程中的不良习惯等。
关键词 手工焊接 要求与技巧 注意事项 不良习惯
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