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凸极轴瓦结构的微晃动马达制作与性能研究
被引量:
2
1
作者
齐臣杰谢会开
谭智敏
刘理天
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1998年第2期83-88,共6页
采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达。它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容;还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力。实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V。维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz。最高...
采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达。它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容;还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力。实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V。维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz。最高转速600rpm,转速0~600rpm连续可调、转动平稳,无抖动。寿命达几小时。
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关键词
晃动马达
静电马达
凸形轴承
硅微马达
原文传递
题名
凸极轴瓦结构的微晃动马达制作与性能研究
被引量:
2
1
作者
齐臣杰谢会开
谭智敏
刘理天
机构
清华大学微电子所
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1998年第2期83-88,共6页
基金
国家"攀登计划B"
文摘
采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达。它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容;还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力。实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V。维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz。最高转速600rpm,转速0~600rpm连续可调、转动平稳,无抖动。寿命达几小时。
关键词
晃动马达
静电马达
凸形轴承
硅微马达
Keywords
Wobble motor, Electrostatic motor, Salient bearing, Polysilicon micromotor
分类号
TM38 [电气工程—电机]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
凸极轴瓦结构的微晃动马达制作与性能研究
齐臣杰谢会开
谭智敏
刘理天
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1998
2
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