奈米流体制程电导度量测系统之研究

奈米微粒的监测与控制技术,目前处于研究阶段,信息十分有限.本文的目的是建立奈米电导度自动量测系统,应用于奈米制程上.本系统采用潜弧奈米合成系统(SANSS)生产奈米流体,并于制程中自动量测其电导度;且撷取回授电流经过滤波,再传送至A/D模块、PLC、计算机,完成奈米流体生产制程之监控与建立电导度自动量测系统.奈米制程中之离子化放电亦以IsSpice软件作仿真分析,再与实际系统做比较,并克服噪声干扰问题.本系统经再三测试,实现了奈米流体稳定的生产及电导度自动量测,可作为发展奈米技术之参考.