圆光栅直径误差检测中信号的处理方法

为了比较真实地测量出圆光栅直径误差φi及刻线位置误差θi,本文指出了对被测盘信号进行差放处理的必要性。从理论进行了分析,并用实验进行了验证。

直流电路系统测试圆光栅的分析与应用

分析了采用直流电路系统测试圆光栅直径误差 Φi(或刻线误差 θi)时所产生的差异等问题 ,讲述了能较真实准确地得出圆光栅 Φi(或 θi)这一单项误差指标的测试与数据处理方法。

常角法在度盘、光栅盘检测中的应用

本文论述了常角法在度盘、光栅盘检测中的应用及推广价值。从理论上进行了分析,并从实验与实际检测工作的数据中得到了验证。