Mn-Fe-P-Si薄膜的制备与性能研究

本文主要研究了金属磁热材料Mn-Fe-P-Si薄膜的制备工艺及其磁性能。利用脉冲激光沉积法分别在刚性Si衬底和柔性云母Mica衬底上沉积Mn-Fe-P-Si薄膜。结果表明,在刚性Si衬底上制备的薄膜呈现明显孔隙,连续性较差,这可能是由于Mn-Fe-P-Si与衬底晶格参数存在失配引起的。而在柔性Mica衬底上Mn-Fe-P-Si薄膜元素分布均匀且致密性好。此外,本文还研究Mn-Fe-P-Si薄膜的结晶性和磁性能与退火温度的相关性。结果显示在退火温度低于1000℃时,Mn-Fe-P-Si薄膜结晶度较低,相应的磁性能也较差。当退火温度达到1100℃后,Mn-Fe-P-Si薄膜充分结晶,且表现出良好的磁性能。本论文有关Mn-Fe-P-Si薄膜形态的研究将有利于提升磁热材料的机械性能,为其实用化提供理论基础。