正压漏孔校准装置

正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ～ 5× 10 -5Pa·L/s。

分压强质谱计校准装置的研制

分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法 ,并给出了分压强测量的不确定度分析。

定容式流导法微流量校准装置

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。

动态流导法真空校准装置

动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1～5×10-7Pa,合成标准不确定度为0.69%～1.4%。

正压漏孔校准装置的设计

正压漏孔校准装置是一种校准气体漏率的计量标准设备 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔校准 ,校准范围为 10 2～ 5× 10 - 5 Pa· L /s。该文介绍正压漏孔校准装置的校准原理 ,设计方法 ,参数选取。

动态比较法校准正压漏孔的漏率

介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０－４～１×１０－７Ｐａｍ３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正压漏孔作参考标准，分别让示漏气体通过参考正压漏孔或被校正压漏孔后，在内充大气的累积容器中累积不同的时间，产生大致相同的示漏气体增量；静态膨胀后，测量它们在动态流量法系统中产生的动态平衡分压力，再进行线性近似比较计算出被校正压漏孔的漏率。定量气体动态比较法是采用定量的示漏气体作参考标准，替代参考漏孔动态比较法中示漏气体通过参考正压漏孔后在累积容器中的累积量。

正压漏孔校准装置的不确定度评定

介绍了正压漏孔校准装置的不确定度评定。该装置是一种校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 (1 0 2 ～ 5× 1 0 -5 )Pa·L/s。

正压漏孔校准

介绍了定容变压法、恒压变容法、定量气体动态比较法、参考漏孔动态比较法对正压漏孔进行校准方法。给出了测试结果和实验分析。

动态流量法超高真空标准装置的性能测试

动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力６．５×１０－９Ｐａ，校准范围１０－２～１０－７Ｐａ，不确定度３％（１０－２～１０－６Ｐａ）和１０％（１０－７Ｐａ）。

压漏孔校准装置性能测试

正压漏孔校准装置可采用定容法和定量气体动态比较法进行正压漏孔的校准。定容法的校准范围是１００～５ × １０^（－３） Ｐａ· Ｌ／ｓ，不确定度小于９．１０％；定量气体动态比较法的校准范围是１×１０^（－２）～５×１０^（－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于１４．２０％。

动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ～ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ～ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。

大型高真空退火炉的热设计

介绍了大型高真空退火炉的热设计。用表面负荷法、容积负荷法、热平衡法对退火炉所需的加热功率进行了估算。采用对工作区域进行全方位加热的方法，提高了工作区域温度的稳定性，与加热体周向布局相比，大大降低了炉体的高度。炉体材料用不锈钢，加热体材料用钼丝。３ｈ内，用１８０ｋＷ加热功率将直径１．６ｍ、高１．７ｍ的工作区域加热到８００℃，炉温稳定后测得工作区域内的最大温差为８℃，定点温度稳定性优于±３℃。

提高不锈钢超高真空系统极限真空的一种方法

为提高超高真空系统的极限真空，在加热烘烤期间用干燥气体冲洗法进行了各种试验。结果表明：冲洗的比不冲洗的极限真空要好；间断冲洗的比连续冲洗的极限真空要好。这对如何提高真空系统的极限真空提供了一定实验依据。