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一种新型耐热性抗干法刻蚀正性光刻胶的研制
被引量:
1
1
作者
袁明荣
黄建兵
龚本民
《感光材料》
北大核心
1989年第3期28-30,共3页
本文合成了聚苯乙烯—N—(4-羟基苯基)—马来酰亚胺(MR—O),它的Tg为258℃,CF_4等离子刻蚀速率与酚醛树脂相近。用它作为重氮邻醌系正性光刻胶的成膜树脂,得到了一种耐240℃以上高温的正性光刻胶。用JKG—1型光刻机曝光,曝光时间为60秒(...
本文合成了聚苯乙烯—N—(4-羟基苯基)—马来酰亚胺(MR—O),它的Tg为258℃,CF_4等离子刻蚀速率与酚醛树脂相近。用它作为重氮邻醌系正性光刻胶的成膜树脂,得到了一种耐240℃以上高温的正性光刻胶。用JKG—1型光刻机曝光,曝光时间为60秒(1μm厚,用0.2%氢氧化钠水溶液湿影,分辨率高于1.6μm,反差为2.7。
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关键词
正性光刻胶
MR-O
马来酰亚胺
刻蚀
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职称材料
导电银粘接剂和电子封装环氧树脂材料的新发展
2
作者
龚本民
《集成电路应用》
2004年第2期1-2,共2页
导电银粘接剂(俗称导电银浆)自1966年问世以来它已经在电子科技中起到越来越重要的作用。目前,导电银粘接剂已经广泛应用于半导体集成电路的封装、集成电路的表面电路连线、计算机软电路连线、液晶显示屏(LCD)、发光二极管(LED)、有机...
导电银粘接剂(俗称导电银浆)自1966年问世以来它已经在电子科技中起到越来越重要的作用。目前,导电银粘接剂已经广泛应用于半导体集成电路的封装、集成电路的表面电路连线、计算机软电路连线、液晶显示屏(LCD)、发光二极管(LED)、有机发光屏(OLED)、印制电路板(PCB)。
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关键词
导电银粘接剂
导电银浆
封装
环氧树脂
集成电路
固化剂
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职称材料
聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)-马来酰亚胺合成的研究
被引量:
2
3
作者
袁明荣
黄建兵
龚本民
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第1期84-88,共5页
为了比较合成方法,找到最佳的合成线路,本文从三条合成路线来探讨聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基-马来酰亚胺的合成。元素分析表明共聚物组成为1:1;通过NMR、IR和UV,我们分析了共聚物的结构;通过DSC和TGA分析了共聚物的热性能;当_n=5.8×1...
为了比较合成方法,找到最佳的合成线路,本文从三条合成路线来探讨聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基-马来酰亚胺的合成。元素分析表明共聚物组成为1:1;通过NMR、IR和UV,我们分析了共聚物的结构;通过DSC和TGA分析了共聚物的热性能;当_n=5.8×10~4时,玻璃化温度为257℃。
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关键词
聚苯乙烯
羟基
苯基
马亚酰亚胺
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职称材料
题名
一种新型耐热性抗干法刻蚀正性光刻胶的研制
被引量:
1
1
作者
袁明荣
黄建兵
龚本民
机构
上海交通大学
出处
《感光材料》
北大核心
1989年第3期28-30,共3页
文摘
本文合成了聚苯乙烯—N—(4-羟基苯基)—马来酰亚胺(MR—O),它的Tg为258℃,CF_4等离子刻蚀速率与酚醛树脂相近。用它作为重氮邻醌系正性光刻胶的成膜树脂,得到了一种耐240℃以上高温的正性光刻胶。用JKG—1型光刻机曝光,曝光时间为60秒(1μm厚,用0.2%氢氧化钠水溶液湿影,分辨率高于1.6μm,反差为2.7。
关键词
正性光刻胶
MR-O
马来酰亚胺
刻蚀
分类号
TQ575.219 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
导电银粘接剂和电子封装环氧树脂材料的新发展
2
作者
龚本民
出处
《集成电路应用》
2004年第2期1-2,共2页
文摘
导电银粘接剂(俗称导电银浆)自1966年问世以来它已经在电子科技中起到越来越重要的作用。目前,导电银粘接剂已经广泛应用于半导体集成电路的封装、集成电路的表面电路连线、计算机软电路连线、液晶显示屏(LCD)、发光二极管(LED)、有机发光屏(OLED)、印制电路板(PCB)。
关键词
导电银粘接剂
导电银浆
封装
环氧树脂
集成电路
固化剂
分类号
TM21 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)-马来酰亚胺合成的研究
被引量:
2
3
作者
袁明荣
黄建兵
龚本民
机构
上海感光胶片总厂研究所
上海交通大学高分子材料研究所
出处
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第1期84-88,共5页
文摘
为了比较合成方法,找到最佳的合成线路,本文从三条合成路线来探讨聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基-马来酰亚胺的合成。元素分析表明共聚物组成为1:1;通过NMR、IR和UV,我们分析了共聚物的结构;通过DSC和TGA分析了共聚物的热性能;当_n=5.8×10~4时,玻璃化温度为257℃。
关键词
聚苯乙烯
羟基
苯基
马亚酰亚胺
分类号
O632.13 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型耐热性抗干法刻蚀正性光刻胶的研制
袁明荣
黄建兵
龚本民
《感光材料》
北大核心
1989
1
下载PDF
职称材料
2
导电银粘接剂和电子封装环氧树脂材料的新发展
龚本民
《集成电路应用》
2004
0
下载PDF
职称材料
3
聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)-马来酰亚胺合成的研究
袁明荣
黄建兵
龚本民
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990
2
下载PDF
职称材料
已选择
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