采用微机械加工技术的微光学加速度计

表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计、关键器件的加工和测试 ,它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个 2 μm厚的多晶硅光闸 ,光闸采用微弹簧支撑在基片上 ,微弹簧是长度为 2 0 0 μm的多晶硅褶曲梁 ,硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统 ,对加速度力产生响应。

2D PHASE SHIFTING AND LOGICAL MOIRE USED IN FRINGES ANALYSIS

Phase Shifting And Logical Moire (PSALM) is a kind of computer image processing method which can be used in phase measurement and to obtain the shape, deformation and strain distribution of an object.This paper presents the structure and working procedure of a 2D phase measurement PSALM2D program and its application. When analyzing moire interferometric fringes,we can obtain 2D distribution of displacement and strain.When it is used in reflection moire we can measure the slope of a specimen.Satisfactory visualization and quantitative results are given by PSALM2D.

碳/环氧复合材料加工引起的残余热变形的微观云纹干涉方法研究

本文提出了一种新的微观云纹干涉法来测量碳/环氧复合材料的热变形.文中对该方法的原理和测量技术进行了详细的讨论,用碳/环氧复合材料制作了一个16层[90°2,0°2,+45°2,-45°2]的试样板,测量了由于加工引起的层间残余变形,计算了层间应变分量εx,εy,γxy.实验结果表明:这种微观云纹干涉法能分辨出几十到几百微米范围内的云纹条纹.比传统的云纹干涉法具有更高的分辨率.