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硅中氧的高空间分辨本领红外光谱
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作者 陈辰嘉 a.borghesi +1 位作者 A.Sassella B.Pivac 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第11期668-674,共7页
用高空间分辨本领的富利埃变换红外光谱研究了CZ法生长硅薄片中氧的沉淀.用此技术我们能探测到单个沉淀物的聚集所贡献的1230cm^(-1)处的吸收带.实验发现在1100℃退火80分钟就足以形成薄层盘形的SiO_2沉淀物.获得的样品中沉淀物的空间... 用高空间分辨本领的富利埃变换红外光谱研究了CZ法生长硅薄片中氧的沉淀.用此技术我们能探测到单个沉淀物的聚集所贡献的1230cm^(-1)处的吸收带.实验发现在1100℃退火80分钟就足以形成薄层盘形的SiO_2沉淀物.获得的样品中沉淀物的空间分布图表明这些沉淀物的分布是不均匀的,主要分别分布在离后表面和外延衬底界面约100μm距离内. 展开更多
关键词 硅中氧 红外光谱
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掺硼多晶硅的远红外光谱
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作者 陈辰嘉 a.borghesi +1 位作者 M.Geddo A.Stella 《红外研究》 CSCD 北大核心 1989年第5期321-326,共6页
用傅里叶变换光谱仪在15K和230~620cm^(-1)范围内研究了不同含Fe量的P型掺B多晶硅的远红外吸收光谱.观测和分析了Si中受主(B)基态到P_(3/2)价带相关的激发态系列的跃迁.实验结果表明,随着Fe浓度的增加,B受主激发谱的吸收强度显著减弱.... 用傅里叶变换光谱仪在15K和230~620cm^(-1)范围内研究了不同含Fe量的P型掺B多晶硅的远红外吸收光谱.观测和分析了Si中受主(B)基态到P_(3/2)价带相关的激发态系列的跃迁.实验结果表明,随着Fe浓度的增加,B受主激发谱的吸收强度显著减弱.证明Fe-B对的形成和Fe杂质在晶粒边界的可能的积累.实验还观测到P型Si(B)中不同含Fe量时607cm^(-1)处C局域振动模的吸收变化,讨论了Fe杂质对C振动吸收的影响. 展开更多
关键词 多晶硅 远红外光谱
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EFFECT OF HEAVY DOPING ON THE OPTICAL SPECTRA OF SILICON
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作者 CHEN Chen-jia a.borghesi +3 位作者 G.Guizzetti L.Nosenzo E.Reguzzoni A.Stella 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS 1985年第7期317-320,共4页
In this paper reflectance(R)and thermoreflectance(TR)spectra in heavily doped silicon concerning both interband and intraband transitions are reported and discussed.The heavily doped sample shows a red-shift and lifet... In this paper reflectance(R)and thermoreflectance(TR)spectra in heavily doped silicon concerning both interband and intraband transitions are reported and discussed.The heavily doped sample shows a red-shift and lifetime broadening in the two singularrities E_(1)(~3.4eV)and E_(2)(~4.5eV).The values of the scattering timeτextracted from the reflectivity fit are obtained and compared with those obtained from Hall mobility measurements. 展开更多
关键词 SCATTERING reflectance LIFETIME
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