CVD工艺及设备技术

过去30多年来,对于CVD(化学气相沉积)涂层用于防护性应用方面的要求增长迅猛。通过提高工业涂层设备的可靠性,基体材料的持续优化,以及针对应用问题诸如前后处理等辅助工艺的集中解决方案等,相应的技术进步实现了从上世纪60年代的单一涂层发展到现今的复杂涂层系统。CVD技术已广泛应用于硬质合金切削刀具行业,同时也广泛用于需要特殊设计涂层材料系统的专业市场。如今的涂层可通过改变微观结构或掺杂不同的元素来进行改性,这使得CVD技术有能力满足众多的需求。这一切都可用改进的专业系统监控特殊前驱物质的沉积设备来实现。