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静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能(英文)
被引量:
3
1
作者
b.warcholinski
A.GILEWICZ
+1 位作者
A.S.KUPRIN
I.V.KOLODIY
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019年第4期799-810,共12页
采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对...
采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对其力学性能进行研究,并采用球盘式摩擦计对涂层的摩擦磨损性能进行研究。结果表明,涂层沉积过程中氮气压力的增加将导致相变的发生,其顺序为Cr_2N→Cr_2N+CrN→CrN。与沉积在基体背面的涂层相比,沉积在基体正面的涂层的粗糙度更高,这主要是正面涂层中大颗粒的数量较多造成的。基体正面涂层的硬度和弹性模量也较高。研究还发现,涂层的附着力与磨损率呈反比关系。
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关键词
氮化铬
电弧蒸发
相成分
粗糙度
硬度
磨损
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职称材料
题名
静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能(英文)
被引量:
3
1
作者
b.warcholinski
A.GILEWICZ
A.S.KUPRIN
I.V.KOLODIY
机构
Faculty of Technology and Education
National Science Center
出处
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019年第4期799-810,共12页
文摘
采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对其力学性能进行研究,并采用球盘式摩擦计对涂层的摩擦磨损性能进行研究。结果表明,涂层沉积过程中氮气压力的增加将导致相变的发生,其顺序为Cr_2N→Cr_2N+CrN→CrN。与沉积在基体背面的涂层相比,沉积在基体正面的涂层的粗糙度更高,这主要是正面涂层中大颗粒的数量较多造成的。基体正面涂层的硬度和弹性模量也较高。研究还发现,涂层的附着力与磨损率呈反比关系。
关键词
氮化铬
电弧蒸发
相成分
粗糙度
硬度
磨损
Keywords
chromium nitride
arc evaporation
phase composition
roughness
hardness
wear
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能(英文)
b.warcholinski
A.GILEWICZ
A.S.KUPRIN
I.V.KOLODIY
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019
3
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职称材料
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