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大尺寸单晶金刚石同质连接技术
被引量:
5
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作者
舒国阳
R
a
lchenko V.
+11 位作者
bolshakov a.
刘康
孙明琪
姚凯丽
赵继文
高鸽
刘本建
王伟华
李一村
刘雪冬
代兵
朱嘉琦
《自然杂志》
2019年第2期100-110,共11页
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径...
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。
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关键词
人造金刚石
单晶
微波等离子体化学气相沉积
同质连接
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职称材料
题名
大尺寸单晶金刚石同质连接技术
被引量:
5
1
作者
舒国阳
R
a
lchenko V.
bolshakov a.
刘康
孙明琪
姚凯丽
赵继文
高鸽
刘本建
王伟华
李一村
刘雪冬
代兵
朱嘉琦
机构
哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室
俄罗斯科学院普通物理研究所
出处
《自然杂志》
2019年第2期100-110,共11页
文摘
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。
关键词
人造金刚石
单晶
微波等离子体化学气相沉积
同质连接
Keywords
synthetic diamond
single crystal
MPCVD
coessential-joint growth
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大尺寸单晶金刚石同质连接技术
舒国阳
R
a
lchenko V.
bolshakov a.
刘康
孙明琪
姚凯丽
赵继文
高鸽
刘本建
王伟华
李一村
刘雪冬
代兵
朱嘉琦
《自然杂志》
2019
5
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