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用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜 被引量：7
1
作者 张德恒 brod.,de 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第10期779-782,共4页
用射频偏压溅射在较高氧压下沉积的六角密排结构的Ｃ轴平行于衬底的混合晶向结构的多晶ＺｎＯ薄膜，对紫外光的照射有较快的光响应．在此ＺｎＯ膜上再沉积层氮掺杂的ＺｎＯ膜，可使其光响应得以大大改善．
关键词 氧化锌薄膜 射频偏压溅射 紧外光响应
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在真空蒸发淀积a—Si及其化合物薄膜中离子轰击的作用
2
作者 张仕国 brod.,de 《薄膜科学与技术》 1995年第2期97-103,共7页
关键词 真空蒸发 离子轰击 硅薄膜 化合物薄膜 薄膜
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