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极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质研究
1
作者
Pincik E
Kobayashi H
+4 位作者
Madani M
r
usnak J
Takahashi M
Mikula M
brunner r
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期15-20,共6页
研究了湿化学法(120℃硝酸氧化,还有低温湿法氧化过程和高温退火组合)制备的极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质。用深能阶暂态光谱学(电荷版)分析了电界面性质,用傅里叶变换衰减全反射红外光谱考察了极薄氧化物/6H-SiC结构的光学...
研究了湿化学法(120℃硝酸氧化,还有低温湿法氧化过程和高温退火组合)制备的极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质。用深能阶暂态光谱学(电荷版)分析了电界面性质,用傅里叶变换衰减全反射红外光谱考察了极薄氧化物/6H-SiC结构的光学性质。发现界面缺陷结构的强转换依赖于应用的技术条件。
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关键词
碳化硅
MOS
硝酸氧化
傅里叶变换红外光谱
深能阶瞬态光谱
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职称材料
非均匀a-Si:H层的光致发光光谱研究
2
作者
brunner r
Pincik E
+2 位作者
Kobayashi H
Kuce
r
a M
Takahashi M
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期43-47,共5页
本文报道了沉积于玻璃基板上的a-Si:H基结构在6K下测定的光致发光光谱。认为其非高斯特性是由材料中的不同相引起的。由光谱拟合获得的数值数据结果显示,它们可以认为是两种有不同结构无序化度区域的光致发光叠加的结果。这是沉积过程...
本文报道了沉积于玻璃基板上的a-Si:H基结构在6K下测定的光致发光光谱。认为其非高斯特性是由材料中的不同相引起的。由光谱拟合获得的数值数据结果显示,它们可以认为是两种有不同结构无序化度区域的光致发光叠加的结果。这是沉积过程的问题,相当于无定形氢化硅结构性能的理想情况。
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关键词
a-Si:H基结构
光致发光光谱
下载PDF
职称材料
题名
极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质研究
1
作者
Pincik E
Kobayashi H
Madani M
r
usnak J
Takahashi M
Mikula M
brunner r
机构
斯洛伐克科学院物理研究所 Dubravska cesta
科学与工业研究所
化学、食品技术和应用光化学系
出处
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期15-20,共6页
基金
日本学术振兴会(JSPS)和下述斯洛伐克基金会:APVV-项目编号0577/07
VEGA-项目编号2/0123/09对本研究提供的支持。
文摘
研究了湿化学法(120℃硝酸氧化,还有低温湿法氧化过程和高温退火组合)制备的极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质。用深能阶暂态光谱学(电荷版)分析了电界面性质,用傅里叶变换衰减全反射红外光谱考察了极薄氧化物/6H-SiC结构的光学性质。发现界面缺陷结构的强转换依赖于应用的技术条件。
关键词
碳化硅
MOS
硝酸氧化
傅里叶变换红外光谱
深能阶瞬态光谱
Keywords
silicon carbide
MOS
nitric acid oxidation
fourier transform infrared spectroscopy
deep level transient spectroscopy
分类号
O472 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
非均匀a-Si:H层的光致发光光谱研究
2
作者
brunner r
Pincik E
Kobayashi H
Kuce
r
a M
Takahashi M
机构
斯洛伐克科学院物理研究所
科学与工业研究所
斯洛伐克科学院电气工程研究所
出处
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期43-47,共5页
基金
APVV 0577-07项目,VEGA 2/0123/09项目,VEGA2/0070/10项目的资助。
文摘
本文报道了沉积于玻璃基板上的a-Si:H基结构在6K下测定的光致发光光谱。认为其非高斯特性是由材料中的不同相引起的。由光谱拟合获得的数值数据结果显示,它们可以认为是两种有不同结构无序化度区域的光致发光叠加的结果。这是沉积过程的问题,相当于无定形氢化硅结构性能的理想情况。
关键词
a-Si:H基结构
光致发光光谱
Keywords
a-Si:H-based structures
photoluminescence spectra
分类号
O472.3 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
极薄氧化物/6H-SiC结构的电学和光学性质研究
Pincik E
Kobayashi H
Madani M
r
usnak J
Takahashi M
Mikula M
brunner r
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
2
非均匀a-Si:H层的光致发光光谱研究
brunner r
Pincik E
Kobayashi H
Kuce
r
a M
Takahashi M
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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