微系统工程的关键问题:连接与装配

一个由电子学、微机械和光学与光电子学元件构成的完整的微系统,其整体结构所保留着一种理想的方式。由于这方面一同用到的工艺有一部分区别很大,在可预见的一段时间里,只能是一种混合结构。评论家们往往估计不足的一点正是装配与连接技术。