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基于运动学分析的工业机器人轨迹精度补偿方法 被引量:24
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作者 唐尧 张恩政 +2 位作者 陈本永 陈刚 刘翠苹 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期175-183,共9页
运动轨迹精度是工业机器人重要的性能评价指标,从机器人运动学角度研究工业机器人轨迹精度提高补偿方法。以SR4C六自由度工业机器人为研究对象,基于国标中对机器人轨迹精度的评定标准,提出一种基于运动学分析的工业机器人轨迹精度补偿方... 运动轨迹精度是工业机器人重要的性能评价指标,从机器人运动学角度研究工业机器人轨迹精度提高补偿方法。以SR4C六自由度工业机器人为研究对象,基于国标中对机器人轨迹精度的评定标准,提出一种基于运动学分析的工业机器人轨迹精度补偿方法,并建立了曲线运动轨迹偏差与运动学模型参数误差映射的机器人运动轨迹误差数学模型。在实现激光跟踪仪和机器人坐标系统一的快速有效的坐标系转化方法的基础上,采用改进最小二乘算法选择轨迹偏差最小时的最优运动学参数,对构建的机器人轨迹测试与补偿实验系统进行了轨迹补偿实验,验证了该方法的有效性。结果表明,经该方法补偿后机器人平均位置误差由3.65%提高至0.79%,直线、圆弧轨迹精度分别提高了38.75%、25%。 展开更多
关键词 工业机器人 运动学分析 轨迹误差模型 坐标系转化 轨迹精度
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基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿 被引量:6
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作者 杨晔 严利平 +1 位作者 陈本永 楼盈天 《仪器仪表学报》 CSCD 北大核心 2021年第6期48-55,共8页
为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的... 为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性,搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统,测量结果与Edlén公式结果进行对比。实验结果显示,本系统测量结果与Edlén公式结果具有较好的一致性,在2.2 h和20 min内,两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10^(-8)和2.89×10^(-8),这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的,可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。 展开更多
关键词 激光干涉 空气折射率测量 长度可变真空腔 Edlén公式 误差补偿
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基于激光干涉法的大型工件内径测量系统设计 被引量:1
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作者 屈杰 陈本永 +1 位作者 严利平 楼盈天 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2022年第5期774-782,共9页
当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时,需铺设长行程直线导轨,导致测量系统结构复杂;为解决该问题,采用模块化接杆式结构的可伸缩测量臂,设计了一套基于激光干涉位移测量的大型工件内径测量系统。该系统由位移测量模块、旋转驱动... 当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时,需铺设长行程直线导轨,导致测量系统结构复杂;为解决该问题,采用模块化接杆式结构的可伸缩测量臂,设计了一套基于激光干涉位移测量的大型工件内径测量系统。该系统由位移测量模块、旋转驱动模块和数据获取与处理模块三部分组成;位移测量模块的测量臂采用双支撑外径递减式结构,有效减少了大尺寸测量时的弯曲变形;采用Pratt法与LM法相结合的融合法进行最小二乘法圆拟合,精确得到被测工件半径和圆度等参数。对研制系统装置进行了定心实验、系统静态稳定性实验、实际工件内径测量及重复性实验等,重复性测量实验测得同一圆周的半径和圆度标准偏差分别为17.60、25.48μm,不同圆周的半径和圆度标准偏差在几十微米内波动,符合测量工件的加工精度。结果表明该系统可应用于大型工件的现场测量,可有效检测和评估工件内径和圆度等参数。 展开更多
关键词 激光干涉仪 大型工件 内径测量 最小二乘法 有限元分析
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基于卷积神经网络智能识别吸收峰的激光稳频方法
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作者 陈本永 赵勇 +4 位作者 楼盈天 严利平 谢建东 于良 唐健钧 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期105-115,共11页
针对饱和吸收光谱激光稳频技术中多吸收峰难以自动识别、误差信号灵敏度低的问题,提出了一种基于卷积神经网络(CNN)智能识别铷原子吸收峰的激光频率锁定方法。首先设计了大、小卷积核相结合的5个卷积-Re LU-最大池化模块+两层全连接层... 针对饱和吸收光谱激光稳频技术中多吸收峰难以自动识别、误差信号灵敏度低的问题,提出了一种基于卷积神经网络(CNN)智能识别铷原子吸收峰的激光频率锁定方法。首先设计了大、小卷积核相结合的5个卷积-Re LU-最大池化模块+两层全连接层的一维卷积神经网络;然后对激光器进行线性扫频,获得了包含24个饱和吸收峰的铷原子的饱和吸收光谱信号S_(sa)(t),提取每个吸收峰的位置序号,将其与饱和吸收光谱信号作为卷积神经网络训练的标签和数据,利用训练后的卷积神经网络实现吸收峰的智能识别;最后采用正交解调技术精确提取饱和吸收光谱信号的相位,使本振信号相位与其自动匹配,提高误差信号的灵敏度。设计了基于上位机卷积神经网络智能寻峰+现场可编程门阵列(FPGA)实时信号处理的激光频率锁定系统,锁定后的激光频率与光频梳拍频结果表明:在7500 s内,激光频率波动标准差为7.94 k Hz;平均时间为64 s时,相对Allan方差为3.50×10^(-12)。所提出的方法可被广泛应用于饱和吸收光谱激光稳频领域。 展开更多
关键词 物理光学 饱和吸收光谱 激光频率锁定 卷积神经网络 吸收峰智能识别 铷原子
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基于卡尔曼滤波的PGC解调非线性误差补偿方法 被引量:18
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作者 严利平 周春宇 +3 位作者 谢建东 陈本永 楼盈天 杨涛 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期134-141,共8页
针对载波相位延迟和调制深度漂移对正弦相位调制干涉仪中相位解调精度的影响,提出一种基于卡尔曼滤波的相位生成载波(PGC)解调非线性误差补偿方法。首先建立由PGC正交分量参数构成的卡尔曼滤波状态空间观测模型。然后对PGC解调的正交分... 针对载波相位延迟和调制深度漂移对正弦相位调制干涉仪中相位解调精度的影响,提出一种基于卡尔曼滤波的相位生成载波(PGC)解调非线性误差补偿方法。首先建立由PGC正交分量参数构成的卡尔曼滤波状态空间观测模型。然后对PGC解调的正交分量幅值和偏置进行最优估计与修正,减小相位解调的非线性误差。最后理论分析阐述该补偿方法的原理,开展模拟干涉信号的相位解调仿真测试和正弦相位调制干涉位移测量实验。实验结果表明:提出的方法能够有效减小PGC相位解调非线性误差,实现纳米级精度的位移测量。 展开更多
关键词 测量 正弦相位调制干涉仪 相位生成载波 非线性误差 卡尔曼滤波
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基于复振幅调制的半导体激光光束整形方法 被引量:7
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作者 陈本永 徐哲毅 +2 位作者 张世华 陈瑞品 严利平 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期147-154,共8页
为了改善半导体激光光束质量,使其能够满足大距离高精度干涉测量的要求,使用空间光调制器对半导体激光光束进行整形,提出了一种基于复振幅调制算法的光束整形方法。利用该方法可将半导体激光光束整形为准直性好、光强分布均匀的无像散... 为了改善半导体激光光束质量,使其能够满足大距离高精度干涉测量的要求,使用空间光调制器对半导体激光光束进行整形,提出了一种基于复振幅调制算法的光束整形方法。利用该方法可将半导体激光光束整形为准直性好、光强分布均匀的无像散基模高斯光束。通过光束质量分析对整形后的光束进行评估,实验结果显示整形后半导体激光光束在x和y方向的M2因子均趋于1,像散接近于0,验证了该光束整形方法的有效性。将提出的半导体激光光束整形方法应用于大距离干涉测量中,在8m处进行了微米级步进位移测量,与纳米位移工作台相比,所得结果达到了亚波长的测量精度。实验结果表明整形后的光束能够满足大距离高精度干涉测量的要求,验证了提出的半导体激光光束整形方法的可行性。 展开更多
关键词 激光光学 半导体激光器 激光光束整形 空间光调制器 复振幅调制
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基于激光单频干涉和PTF传感融合的空气折射率测量方法 被引量:1
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作者 严利平 蒋剑波 +2 位作者 楼盈天 陈本永 谢建东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第5期103-110,共8页
针对空气折射率测量中Edlén公式法测量精度受限于传感器精度,以及固定长度真空腔的激光干涉法条纹整周期难以确定的问题,提出了一种融合激光单频干涉和PTF传感的空气折射率测量方法。设计了基于固定长度单真空腔的正弦相位调制激... 针对空气折射率测量中Edlén公式法测量精度受限于传感器精度,以及固定长度真空腔的激光干涉法条纹整周期难以确定的问题,提出了一种融合激光单频干涉和PTF传感的空气折射率测量方法。设计了基于固定长度单真空腔的正弦相位调制激光干涉空气折射率测量光路。利用低精度传感器获得的空气折射率预测值来确定干涉条纹整数,采用PGC-Arctan算法精确解调干涉信号相位来获得小数干涉条纹,实现空气折射率的大范围高精度实时测量。搭建了实验装置,开展了与Edlén公式法的空气折射率测量比对实验。实验结果显示,在12 min和1 h内,两种方法测得结果具有较好的一致性,两者偏差的标准偏差分别为1.5×10^(-8)和2.3×10^(-8),表明本文方法可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。 展开更多
关键词 测量 空气折射率测量 激光单频干涉 Edlén公式法 正弦相位调制
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外差干涉相位测量中信号串扰误差与补偿方法研究 被引量:1
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作者 杨伟雷 刘洋 +4 位作者 赫明钊 缪东晶 陈本永 谢志奇 李建双 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期75-86,共12页
为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数... 为了解决外差干涉相位测量中多通道采样信号间的串扰误差对相位测量精度的影响,提出了一种基于采样信号频谱分析的预补偿方法来实现信号串扰误差的补偿和消除。首先建立基于锁相放大的正交鉴相法的信号串扰误差理论模型,阐明了串扰系数、输入信号幅值比和串扰信号相位偏移对相位测量误差的影响;设计仿真实验验证了该误差模型和补偿方法的有效性;然后基于紧凑型FPGA开发平台设计了相位测量实验,结果表明该补偿方法能够有效消除信号串扰误差的影响,补偿后相位测量的最大误差从0.34°下降到0.01°;最后搭建了外差干涉仪并与高精度的压电位移平台进行比对,实验结果表明补偿后的信号处理系统能够满足外差干涉测量的应用需求。 展开更多
关键词 测量 外差干涉 正交鉴相 信号串扰 频谱分析 位移测量
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Velocity-dependent symmetries and non-Noether conserved quantities of electromechanical systems 被引量:5
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作者 FU JingLi chen benyong +3 位作者 FU Hao ZHAO GangLing LIU RongWan ZHU ZhiYan 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2011年第2期288-295,共8页
The theory of velocity-dependent symmetries(or Lie symmetry) and non-Noether conserved quantities are presented corresponding to both the continuous and discrete electromechanical systems.Firstly,based on the invarian... The theory of velocity-dependent symmetries(or Lie symmetry) and non-Noether conserved quantities are presented corresponding to both the continuous and discrete electromechanical systems.Firstly,based on the invariance of Lagrange-Maxwell equations under infinitesimal transformations with respect to generalized coordinates and generalized charge quantities,the definition and the determining equations of velocity-dependent symmetry are obtained for continuous electromechanical systems;the Lie's theorem and the non-Noether conserved quantity of this symmetry are produced associated with continuous electromechanical systems.Secondly,the operators of transformation and the operators of differentiation are introduced in the space of discrete variables;a series of commuting relations of discrete vector operators are defined.Thirdly,based on the invariance of discrete Lagrange-Maxwell equations under infinitesimal transformations with respect to generalized coordinates and generalized charge quantities,the definition and the determining equations of velocity-dependent symmetry are obtained associated with discrete electromechanical systems;the Lie's theorem and the non-Noether conserved quantity are proved for the discrete electromechanical systems.This paper has shown that the discrete analogue of conserved quantity can be directly demonstrated by the commuting relation of discrete vector operators.Finally,an example is discussed to illustrate the results. 展开更多
关键词 velocity-dependent symmetry conserved quantity DISCRETE electromechanical system
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A simple approach to porous low-temperature-sintering BaTiO_3
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作者 LI Yang LIU Hu +3 位作者 LIU FaJia LI ChaoRong chen benyong DONG WenJun 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2012年第9期1765-1769,共5页
Porous tetragonal BaTiO 3 ceramic was successfully prepared by a combination of hydrothermal and low-temperature-sintering method.The hollow TiO2@BaCO 3 as the sintering precursor was synthesized via a simple hydrothe... Porous tetragonal BaTiO 3 ceramic was successfully prepared by a combination of hydrothermal and low-temperature-sintering method.The hollow TiO2@BaCO 3 as the sintering precursor was synthesized via a simple hydrothermal method,and then porous BaTiO 3 was generated by calcining the hollow TiO2@BaCO 3 precursor at 900 ℃ without additive.The hollow TiO2@BaCO 3 structure plays two important roles in the preparing of the porous BaTiO 3 ceramic.First,the TiO2@BaCO 3 hollow structure provides high surface areas and increases the contact points between BaCO 3 and TiO2,which can reduce the sintering temperature of the BaTiO 3 ceramic.Second,the cavity of the ordered arranged TiO2@BaCO 3 hollow sphere shows important influence on the porous structure,and the pore size of the as-prepared porous BaTiO 3 ceramic can be tuned from several nanometers to hundreds nanomters by changing the sintering temperature.The formation mechanism of the porous BaTiO 3 ceramic was proposed. 展开更多
关键词 BaTi03 CERAMICS SINTERING POROSITY
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