Investigation on the laser ablation of SiC ceramics using micro-Raman mapping technique

关于激光脱离行为的研究当在空格和激光的高效的镜子，或激光出现，原文如此，陶艺为他们的反激光能力的改进有大意义微用机器制造的技术作为在微电子的机械系统(MEMS ) 的电子部件。在这个工作，激光脱离原文如此，陶艺被在 1064 nm 使用 12 ns 持续时间的激光脉搏执行了。激光在 0.1 J/cm 2 下面导致了损坏阀值(LIDT ) 被 1-on-1 模式和它的损坏形态学获得出现在与一条清楚的边界烧坑形式。印射技术的 Micro-Raman 首先在激光脱离机制上在我们的学习被介绍原文如此由识别在未受损伤、切除激光的区域之间的物理、化学的变化出现。在脱离过程期间，原文如此，表面主要经历了分解到元素的 Si 和 C，这被结束了，由水晶取向的某转变伴随了。氧化也原文如此发生了但是仅仅在目标区域的边上的小数量，当有时，不与更高的精力密度在中心 SiO 2提示，也许因为在切除区域的 O 2空气的缺乏，由在从 633～779 的 1505 ng 的碳的 SiO 2的消除?作文。Th 蹘 ? 蹘？？