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α-Al_(2)O_(3)衬底上生长的GaN膜的光学性质
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作者 杨凯 张荣 +5 位作者 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有炓 黄振春 chen j c 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第10期29-31,共3页
采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜... 采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜的直接带隙宽度和光学参数。 展开更多
关键词 α-Al_(2)O_(3)衬底 GAN薄膜 金属有机化学气相淀积 单晶 光学性质
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