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非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的抗刻划性能及氟对结合强度的影响
被引量:
2
1
作者
赵建生
许大庆
choykwangleong
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期80-84,共5页
使用非平衡磁控溅射方法沉积了类金刚石(DLC)和一定含氟浓度的氟化DLC。使用划痕方法试验了不同DLC薄膜的抗刻划性能并对其试验机理进行了研究。结果表明划痕试验过程中随着试验载荷的增加,DLC破坏形式可分为开裂、崩片...
使用非平衡磁控溅射方法沉积了类金刚石(DLC)和一定含氟浓度的氟化DLC。使用划痕方法试验了不同DLC薄膜的抗刻划性能并对其试验机理进行了研究。结果表明划痕试验过程中随着试验载荷的增加,DLC破坏形式可分为开裂、崩片、划入剥落及表层的脱落等阶段。其中抗开裂、崩片及划入性能取决于DLC本身的力学特性。膜层的脱落载荷取决于膜层与基体的结合强度。降低薄膜的摩擦系数有利于提高DLC薄膜的刻划抗力。氟元素的加入可以降低DLC层的刻划摩擦力,提高其开裂强度并增加DLC薄膜与基体材料的结合强度。
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关键词
类金刚石
薄膜
氟化类金刚石
磁控溅射
结合强度
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职称材料
题名
非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的抗刻划性能及氟对结合强度的影响
被引量:
2
1
作者
赵建生
许大庆
choykwangleong
机构
华中理工大学材料科学与工程系
ImperialCollegeofScience
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期80-84,共5页
基金
国家模具重点实验室资助
文摘
使用非平衡磁控溅射方法沉积了类金刚石(DLC)和一定含氟浓度的氟化DLC。使用划痕方法试验了不同DLC薄膜的抗刻划性能并对其试验机理进行了研究。结果表明划痕试验过程中随着试验载荷的增加,DLC破坏形式可分为开裂、崩片、划入剥落及表层的脱落等阶段。其中抗开裂、崩片及划入性能取决于DLC本身的力学特性。膜层的脱落载荷取决于膜层与基体的结合强度。降低薄膜的摩擦系数有利于提高DLC薄膜的刻划抗力。氟元素的加入可以降低DLC层的刻划摩擦力,提高其开裂强度并增加DLC薄膜与基体材料的结合强度。
关键词
类金刚石
薄膜
氟化类金刚石
磁控溅射
结合强度
Keywords
Diamond like carbon Thin film Fluorinated diamond like carbon Magnetron sputtering
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的抗刻划性能及氟对结合强度的影响
赵建生
许大庆
choykwangleong
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
2
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职称材料
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