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最新的集成电路诊断技术-OptiFIB
1
作者
credence
《电子工业专用设备》
2004年第10期78-81,共4页
关键词
集成电路诊断
OptiFIB
铜镶嵌
光学聚焦离子束
编辑硅片
下载PDF
职称材料
题名
最新的集成电路诊断技术-OptiFIB
1
作者
credence
出处
《电子工业专用设备》
2004年第10期78-81,共4页
关键词
集成电路诊断
OptiFIB
铜镶嵌
光学聚焦离子束
编辑硅片
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
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作者
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1
最新的集成电路诊断技术-OptiFIB
credence
《电子工业专用设备》
2004
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