等离子流密度控制器

电流密度的控制本发明涉及工件上电流密度的控制,就是当电流通过作为一个电极的工件和另一极性相反的电极之间时工件上的电流密度。在几种工业离子工艺(有时也称为等离子工艺)中,如离子镀、离子渗碳、离子氮化。