相位光栅干涉计

Taylor Hobson公司最近已将相位光栅干涉计(PGI)投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为10mm和13um,它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论PGI计的工作方式及其主要性能。