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Etching Fused Quartz With CHF_3/Ar
1
作者
周明宝
崔铮
d.prewett
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期64-69,81,共7页
报道了用氟利昂CHF3和氩气Ar作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术,研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响,并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染,同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺,...
报道了用氟利昂CHF3和氩气Ar作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术,研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响,并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染,同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺,采用Rs1/Discover软件工具设计优化实验。实验中射频等离子体功率在120~160W范围,氩气和氟利昂流速分别在15~35scm和20~50sccm范围,腔压在100~140mTor范围,相应的刻蚀速度为15~25nm/min。
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关键词
石英
离子腐蚀
多层位相结构
混合气体.
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职称材料
用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械
2
作者
崔铮
d.prewett
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期71-75,共5页
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接...
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成形。此外,用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后,结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。
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关键词
光致抗蚀剂
损耗层
微机械
光刻工艺
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职称材料
题名
Etching Fused Quartz With CHF_3/Ar
1
作者
周明宝
崔铮
d.prewett
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
英国卢瑟福国家实验室微结构中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期64-69,81,共7页
文摘
报道了用氟利昂CHF3和氩气Ar作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术,研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响,并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染,同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺,采用Rs1/Discover软件工具设计优化实验。实验中射频等离子体功率在120~160W范围,氩气和氟利昂流速分别在15~35scm和20~50sccm范围,腔压在100~140mTor范围,相应的刻蚀速度为15~25nm/min。
关键词
石英
离子腐蚀
多层位相结构
混合气体.
Keywords
Quartz,Ion etching,Multilevel phase structures,Mixed gases.
分类号
TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械
2
作者
崔铮
d.prewett
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
英国卢瑟福国家实验室微结构中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期71-75,共5页
文摘
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成形。此外,用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后,结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。
关键词
光致抗蚀剂
损耗层
微机械
光刻工艺
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
Etching Fused Quartz With CHF_3/Ar
周明宝
崔铮
d.prewett
《光电工程》
CAS
CSCD
1997
0
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职称材料
2
用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械
崔铮
d.prewett
《光电工程》
CAS
CSCD
1997
0
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职称材料
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